MOCVD ససెప్టర్ గురించి మీకు తెలుసా?

మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (MOCVD) ప్రక్రియలో, సుప్రాంగ్ అనేది పొరకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క ఏకరూపత మరియు ఖచ్చితమైన నియంత్రణను నిర్ధారించడానికి ఒక ముఖ్య భాగం. దాని పదార్థ ఎంపిక మరియు ఉత్పత్తి లక్షణాలు ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వాన్ని మరియు ఉత్పత్తి యొక్క నాణ్యతను నేరుగా ప్రభావితం చేస్తాయి.

MOCVD మద్దతు(మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ) సెమీకండక్టర్ తయారీలో కీలకమైన ప్రక్రియ భాగం. సన్నని చలనచిత్ర నిక్షేపణ కోసం పొరకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు వేడి చేయడానికి ఇది ప్రధానంగా MOCVD (మెటల్-ఆర్గానిక్ కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ) ప్రక్రియలో ఉపయోగించబడుతుంది. తుది ఉత్పత్తి యొక్క ఏకరూపత, సామర్థ్యం మరియు నాణ్యతకు సూప్టర్ యొక్క రూపకల్పన మరియు పదార్థ ఎంపిక కీలకం.

ఉత్పత్తి రకం మరియు పదార్థ ఎంపిక:

MOCVD ససెప్టర్ యొక్క రూపకల్పన మరియు పదార్థ ఎంపిక వైవిధ్యమైనది, సాధారణంగా ప్రక్రియ అవసరాలు మరియు ప్రతిచర్య పరిస్థితుల ద్వారా నిర్ణయించబడుతుంది.కిందివి సాధారణ ఉత్పత్తి రకాలు మరియు వాటి పదార్థాలు:

Sic పూత ససెప్టర్(సిలికాన్ కార్బైడ్ కోటెడ్ ససెప్టర్):

వివరణ: SIC పూతతో ససెప్టర్, గ్రాఫైట్ లేదా ఇతర అధిక-ఉష్ణోగ్రత పదార్థాలతో ఉపరితలంగా, మరియు దాని దుస్తులు నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకతను మెరుగుపరచడానికి ఉపరితలంపై CVD SIC పూత (CVD SIC పూత).

అప్లికేషన్: అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అత్యంత తినివేయు వాయువు వాతావరణాలలో MOCVD ప్రక్రియలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ముఖ్యంగా సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ మరియు సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ నిక్షేపణలో.

TAC పూత సబర్స్:

వివరణ: ప్రధాన పదార్థంగా TAC పూత (CVD TAC పూత) తో ససెప్టర్ చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు చాలా తినివేయు వాతావరణంలో ఉపయోగించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.

అప్లికేషన్: గల్లియం నైట్రైడ్ (GAN) మరియు గాలియం ఆర్సెనైడ్ (GAAS) యొక్క నిక్షేపణ వంటి అధిక తుప్పు నిరోధకత మరియు యాంత్రిక బలం అవసరమయ్యే MOCVD ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడుతుంది.

MOCVD కోసం సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత గ్రాఫైట్ ససెప్టర్:

వివరణ: ఉపరితలం గ్రాఫైట్, మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద స్థిరత్వం మరియు సుదీర్ఘ జీవితాన్ని నిర్ధారించడానికి ఉపరితలం CVD SIC పూత యొక్క పొరతో కప్పబడి ఉంటుంది.

అప్లికేషన్: అధిక-నాణ్యత సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ పదార్థాలను తయారు చేయడానికి ఐక్స్ట్రాన్ MOCVD రియాక్టర్లు వంటి పరికరాలలో ఉపయోగం కోసం అనువైనది.

ఇపి మద్దతు (ఎపిటాక్సీ మద్దతుదారు):

వివరణ: ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి ప్రక్రియ కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన ససెప్టర్, సాధారణంగా దాని ఉష్ణ వాహకత మరియు మన్నికను పెంచడానికి SIC పూత లేదా TAC పూతతో.

అప్లికేషన్: సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ మరియు సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీలో, ఇది పొరల యొక్క ఏకరీతి తాపన మరియు నిక్షేపణను నిర్ధారించడానికి ఉపయోగించబడుతుంది.

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో MOCVD కోసం ససెప్టర్ యొక్క ప్రధాన పాత్ర:

పొర మద్దతు మరియు ఏకరీతి తాపన:

ఫంక్షన్: MOCVD రియాక్టర్లలో పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు ఏకరీతి చలనచిత్ర నిక్షేపణను నిర్ధారించడానికి ఇండక్షన్ తాపన లేదా ఇతర పద్ధతుల ద్వారా ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని అందించడానికి ససెప్టర్ ఉపయోగించబడుతుంది.

వేడి ప్రసరణ మరియు స్థిరత్వం:

ఫంక్షన్: ససెప్టర్ పదార్థాల ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం కీలకం. SIC కోటెడ్ ససెప్టర్ మరియు TAC కోటెడ్ ససెప్టర్ అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత కారణంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించగలవు, అసమాన ఉష్ణోగ్రత వల్ల కలిగే చలన చిత్ర లోపాలను నివారించవచ్చు.

తుప్పు నిరోధకత మరియు దీర్ఘ జీవితం:

ఫంక్షన్: MOCVD ప్రక్రియలో, ససెప్టర్ వివిధ రసాయన పూర్వగామి వాయువులకు గురవుతుంది. SIC పూత మరియు TAC పూత అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకతను అందిస్తాయి, భౌతిక ఉపరితలం మరియు ప్రతిచర్య వాయువు మధ్య పరస్పర చర్యను తగ్గిస్తాయి మరియు ససెప్టర్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని విస్తరిస్తాయి.

ప్రతిచర్య పర్యావరణం యొక్క ఆప్టిమైజేషన్:

ఫంక్షన్: అధిక-నాణ్యత ససెప్టర్లను ఉపయోగించడం ద్వారా, MOCVD రియాక్టర్‌లోని గ్యాస్ ప్రవాహం మరియు ఉష్ణోగ్రత క్షేత్రం ఆప్టిమైజ్ చేయబడతాయి, ఇది ఏకరీతి చలనచిత్ర నిక్షేపణ ప్రక్రియను నిర్ధారిస్తుంది మరియు పరికరం యొక్క దిగుబడి మరియు పనితీరును మెరుగుపరుస్తుంది. ఇది సాధారణంగా MOCVD రియాక్టర్లు మరియు AIXTRON MOCVD పరికరాల కోసం ససెప్టర్లలో ఉపయోగించబడుతుంది.

ఉత్పత్తి లక్షణాలు మరియు సాంకేతిక ప్రయోజనాలు：

అధిక ఉష్ణ వాహక మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం:

లక్షణాలు: SIC మరియు TAC పూత కలిగిన ససెప్టర్లు చాలా ఎక్కువ ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటాయి, త్వరగా మరియు సమానంగా వేడిని పంపిణీ చేయగలవు మరియు పొరల యొక్క ఏకరీతి తాపనాన్ని నిర్ధారించడానికి అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్మాణాత్మక స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించగలవు.

ప్రయోజనాలు: గల్లియం నైట్రైడ్ (GAN) మరియు గాలియం ఆర్సెనైడ్ (GAAS) వంటి సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్ల యొక్క ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల వంటి ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ అవసరమయ్యే MOCVD ప్రక్రియలకు అనువైనది.

అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత:

ఫీచర్స్: సివిడి సిఐసి పూత మరియు సివిడి టిఎసి పూత చాలా ఎక్కువ రసాయన జడత్వాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు క్లోరైడ్లు మరియు ఫ్లోరైడ్లు వంటి అధిక తినివేయు వాయువుల నుండి తుప్పును నిరోధించగలవు, ససెప్టర్ యొక్క ఉపరితలాన్ని దెబ్బతినకుండా కాపాడుతుంది.

ప్రయోజనాలు: ససెప్టర్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని పొడిగించండి, నిర్వహణ పౌన frequency పున్యాన్ని తగ్గించండి మరియు MOCVD ప్రక్రియ యొక్క మొత్తం సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచండి.

అధిక యాంత్రిక బలం మరియు కాఠిన్యం:

లక్షణాలు: SIC మరియు TAC పూతల యొక్క అధిక కాఠిన్యం మరియు యాంత్రిక బలం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడన పరిసరాలలో యాంత్రిక ఒత్తిడిని తట్టుకోవటానికి మరియు దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్వహించడానికి ససెప్టర్ను అనుమతిస్తుంది.

ప్రయోజనాలు: ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ వంటి అధిక ఖచ్చితత్వం అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలకు ముఖ్యంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది.

మార్కెట్ అనువర్తనం మరియు అభివృద్ధి అవకాశాలు

MOCVD ససెప్టర్లుఅధిక-ప్రకాశం LED లు, పవర్ ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు (GAN- ఆధారిత హేమ్ట్స్ వంటివి), సౌర ఘటాలు మరియు ఇతర ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాల తయారీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడతాయి. అధిక పనితీరు మరియు తక్కువ విద్యుత్ వినియోగం సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం పెరుగుతున్న డిమాండ్‌తో, MOCVD టెక్నాలజీ ముందుకు సాగుతూనే ఉంది, ససెప్టర్ మెటీరియల్స్ మరియు డిజైన్లలో ఆవిష్కరణను పెంచుతుంది. ఉదాహరణకు, అధిక స్వచ్ఛత మరియు తక్కువ లోపం సాంద్రత కలిగిన SIC పూత సాంకేతికతను అభివృద్ధి చేయడం మరియు పెద్ద పొరలు మరియు మరింత సంక్లిష్టమైన మల్టీ-లేయర్ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలకు అనుగుణంగా ససెప్టర్ యొక్క నిర్మాణ రూపకల్పనను ఆప్టిమైజ్ చేయడం.

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ టెక్నాలజీ కో., లిమిటెడ్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు అధునాతన పూత సామగ్రిని అందించే ప్రముఖ ప్రొవైడర్. మా కంపెనీ పరిశ్రమ కోసం అత్యాధునిక పరిష్కారాలను అభివృద్ధి చేయడంపై దృష్టి పెడుతుంది.

మా ప్రధాన ఉత్పత్తి సమర్పణలలో సివిడి సిలికాన్ కార్బైడ్ (సిఐసి) పూతలు, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (టిఎసి) పూతలు, బల్క్ సిక్, సిక్ పౌడర్స్ మరియు హై-ప్యూరిటీ సిక్ మెటీరియల్స్, సిక్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్, ప్రీహీట్ రింగులు, టాక్ కోటెడ్ డైవర్షన్ రింగ్, సగం మేన్ భాగాలు మొదలైనవి, 5 పిపిఎం అవసరమయ్యేవి.

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ కోసం అత్యాధునిక సాంకేతిక పరిజ్ఞానం మరియు ఉత్పత్తి అభివృద్ధి పరిష్కారాలను అభివృద్ధి చేయడంపై దృష్టి పెడుతుంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము హృదయపూర్వకంగా ఆశిస్తున్నాము.