EPI మద్దతుదారు

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ ఒక ప్రొఫెషనల్ నాయకుడు చైనా EPI చేపట్టిన, ALD ప్లానెటరీ ట్యూగర్ మరియు TAC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ సపోర్ట్ తయారీదారు. మరియు మా EPI మద్దతు ఒక ముఖ్యమైన భాగంఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలసెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో. దీని ప్రధాన పని పొరకు మద్దతు ఇవ్వడం మరియు వేడి చేయడం, తద్వారా అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ పొరను పొర ఉపరితలంపై ఒకే విధంగా పెంచవచ్చు.

వెటెక్ సెమీకండక్టర్స్ యొక్క EPI ససెప్టర్లు సాధారణంగా అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్‌తో తయారు చేయబడతాయి మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) పొరతో పూత పూయబడతాయి.ఈ డిజైన్ కింది ముఖ్య ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంది:

Temperature అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం: EPI ససెప్టర్ అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో స్థిరంగా ఉంటుంది, ఇది ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరీతి పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తుంది.

తుప్పు నిరోధకత: SIC పూత అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంది మరియు రసాయన వాయువుల కోతను నిరోధించగలదు, ఇది ట్రే యొక్క సేవా జీవితాన్ని విస్తరిస్తుంది.

● ఉష్ణ వాహకత: SIC పదార్థం యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత తాపన సమయంలో పొర యొక్క ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క నాణ్యతను మెరుగుపరుస్తుంది.

● థర్మల్ ఎక్స్‌పాన్షన్ కోఎఫీషియంట్ మ్యాచింగ్: SIC యొక్క ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం గ్రాఫైట్ మాదిరిగానే ఉంటుంది, ఉష్ణ విస్తరణ మరియు సంకోచం కారణంగా పూత షెడ్డింగ్ సమస్యను నివారించవచ్చు.

యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలుCVD SIC పూత:

సివిడి సిక్ కోటింగ్ ప్రొడక్షన్ షాప్:

సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం: