ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్
  • EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్
  • EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్
  • EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్

EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్

బారెల్ రకం ఎపిటాక్సియల్ వేఫర్ హీటింగ్ బేస్ అనేది సంక్లిష్టమైన ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీతో కూడిన ఉత్పత్తి, ఇది మ్యాచింగ్ పరికరాలు మరియు సామర్థ్యానికి చాలా సవాలుగా ఉంటుంది. Vetek సెమీకండక్టర్ అధునాతన పరికరాలు మరియు EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్‌ను ప్రాసెస్ చేయడంలో గొప్ప అనుభవాన్ని కలిగి ఉంది, అసలు ఫ్యాక్టరీ జీవితాన్ని, మరింత ఖర్చుతో కూడుకున్న ఎపిటాక్సియల్ బారెల్స్‌ను అందించగలదు. మీరు మా డేటాపై ఆసక్తి కలిగి ఉంటే, దయచేసి మమ్మల్ని సంప్రదించడానికి వెనుకాడరు.

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది అనేక సంవత్సరాల అనుభవంతో EPI కోసం ప్రధానంగా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్‌ను ఉత్పత్తి చేసే చైనా తయారీదారు & సరఫరాదారు. మీతో వ్యాపార సంబంధాన్ని ఏర్పరచుకోవాలని ఆశిస్తున్నాను.మరియు (ఎపిటాక్సీ)అధునాతన సెమీకండక్టర్ల తయారీలో కీలక ప్రక్రియ. ఇది సంక్లిష్టమైన పరికర నిర్మాణాలను రూపొందించడానికి ఒక ఉపరితలంపై పదార్థం యొక్క పలుచని పొరల నిక్షేపణను కలిగి ఉంటుంది. EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్‌ను సాధారణంగా EPI రియాక్టర్‌లలో వాటి అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతలకు నిరోధకత కారణంగా ససెప్టర్లుగా ఉపయోగిస్తారు. తోCVD-SIC పూత, ఇది కాలుష్యం, కోత మరియు థర్మల్ షాక్‌కు మరింత నిరోధకతను కలిగిస్తుంది. ఇది ససెప్టర్ మరియు మెరుగైన ఫిల్మ్ క్వాలిటీకి ఎక్కువ ఆయుర్దాయం కలిగిస్తుంది.


మా SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క ప్రయోజనాలు:


తగ్గిన కాలుష్యం: SiC యొక్క జడ స్వభావం మలినాలను ససెప్టర్ ఉపరితలంపై అంటుకోకుండా నిరోధిస్తుంది, డిపాజిట్ చేయబడిన ఫిల్మ్‌ల కలుషిత ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.

పెరిగిన కోత నిరోధకత: సాంప్రదాయిక గ్రాఫైట్ కంటే SIC కోతకు గణనీయంగా ఎక్కువ నిరోధకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది ససెప్టర్ కోసం ఎక్కువ ఆయుర్దాయంకు దారితీస్తుంది.

మెరుగైన ఉష్ణ స్థిరత్వం: SiC అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది మరియు గణనీయమైన వక్రీకరణ లేకుండా అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు.

మెరుగైన చలనచిత్ర నాణ్యత: మెరుగైన ఉష్ణ స్థిరత్వం మరియు తగ్గిన కాలుష్యం ఫలితంగా మెరుగైన ఏకరూపత మరియు మందం నియంత్రణతో అధిక-నాణ్యత డిపాజిట్ చేయబడిన చలనచిత్రాలు ఏర్పడతాయి.


అప్లికేషన్లు:

SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్లు వివిధ EPI అప్లికేషన్‌లలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి, వీటిలో:

✔ GaN-ఆధారిత LEDలు

✔ పవర్ ఎలక్ట్రానిక్స్

Opptoelectronic పరికరాలు

✔ హై-ఫ్రీక్వెన్సీ ట్రాన్సిస్టర్లు

✔ సెన్సార్లు

సిక్ కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ యొక్క ఉత్పత్తి పరామితి

యొక్క భౌతిక లక్షణాలుఐసోస్టాటిక్ గ్రాఫైట్
ఆస్తి యూనిట్ సాధారణ విలువ
బల్క్ డెన్సిటీ g/cm³ 1.83
కాఠిన్యం Hsd 58
ఎలక్ట్రికల్ రెసిస్టివిటీ μΩ.m 10
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ MPa 47
సంపీడన బలం MPa 103
తన్యత బలం MPa 31
యంగ్స్ మాడ్యులస్ GPA 11.8
ఉష్ణ విస్తరణ (సిటిఇ) 10-6K-1 4.6
ఉష్ణ వాహకత W · m-1·కె-1 130
సగటు ధాన్యం పరిమాణం μm 8-10
సచ్ఛిద్రత % 10
బూడిద కంటెంట్ ppm ≤10 (శుద్ధి చేసిన తర్వాత)

        గమనిక: పూతకు ముందు, మేము మొదట శుద్దీకరణ చేస్తాము, పూత తరువాత, రెండవ శుద్దీకరణ చేస్తాము.

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు

CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం FCC β దశ పాలిక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఆధారితమైనది
Sic పూత సాంద్రత 3.21 గ్రా/సెం.మీ.
Cషధము 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం 2 ~ 10 మిమీ
రసాయన స్వచ్ఛత 99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం 640 J · kg-1·కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత 2700
ఫ్లెక్సురల్ స్ట్రెంత్ 415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్ మాడ్యులస్ 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత 300W · M-1·కె-1
థర్మల్ విస్తరణ (CTE) 4.5 × 10-6K-1

VeTek సెమీకండక్టర్EPI కోసం SIC పూత గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్ఉత్పత్తి దుకాణం

SiC Coated Graphite Barrel Susceptor for EPI products shops

హాట్ ట్యాగ్‌లు: EPI కోసం SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ బారెల్ ససెప్టర్
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇ-మెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు.గోప్యతా విధానం
తిరస్కరించుఅంగీకరించు