CVD SIC పూత నాజిల్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ CVD SIC కోటింగ్ హాఫ్మూన్ పార్ట్స్ మరియు దాని అనుబంధ CVD SIC పూత నాజెల్స్ వంటి ఎపిటాక్సియల్ పరికరాల కోసం CVD SIC పూత ఉపకరణాల ప్రత్యేక తయారీదారు.

PE1O8 అనేది పూర్తిగా ఆటోమేటిక్ కాట్రిడ్జ్‌ల నుండి క్యాట్రిడ్జ్‌ల సిస్టమ్‌ను నిర్వహించడానికి రూపొందించబడిందిSiC పొరలు200mm వరకు. ఆకృతిని 150 మరియు 200 mm మధ్య మార్చవచ్చు, సాధనం పనికిరాని సమయాన్ని తగ్గిస్తుంది. తాపన దశల తగ్గింపు ఉత్పాదకతను పెంచుతుంది, అయితే ఆటోమేషన్ శ్రమను తగ్గిస్తుంది మరియు నాణ్యత మరియు పునరావృతతను మెరుగుపరుస్తుంది. సమర్థవంతమైన మరియు వ్యయ-పోటీ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియను నిర్ధారించడానికి, మూడు ప్రధాన అంశాలు నివేదించబడ్డాయి: 

●  వేగవంతమైన ప్రక్రియ;

●  అధిక ఏకరూపత మందం మరియు డోపింగ్;

Ep ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో లోపం ఏర్పడటాన్ని తగ్గించడం. 

PE1O8లో, చిన్న గ్రాఫైట్ ద్రవ్యరాశి మరియు ఆటోమేటిక్ లోడ్/అన్‌లోడ్ సిస్టమ్ ప్రామాణిక పరుగును 75 నిమిషాల కంటే తక్కువ సమయంలో పూర్తి చేయడానికి అనుమతిస్తాయి (ప్రామాణిక 10μm షాట్కీ డయోడ్ సూత్రీకరణ 30μm/h వృద్ధి రేటును ఉపయోగిస్తుంది). ఆటోమేటిక్ సిస్టమ్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద లోడ్ / అన్‌లోడ్ చేయడానికి అనుమతిస్తుంది. ఫలితంగా, తాపన మరియు శీతలీకరణ సమయాలు తక్కువగా ఉంటాయి, అయితే బేకింగ్ దశ నిరోధించబడుతుంది. ఈ ఆదర్శ పరిస్థితి నిజమైన అన్‌డోప్డ్ మెటీరియల్‌ల పెరుగుదలను అనుమతిస్తుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో, ఎపిటాక్సియల్ పొరల పెరుగుదల మరియు నాణ్యతలో CVD SiC కోటింగ్ నాజిల్‌లు కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి. నాజిల్ పాత్ర యొక్క విస్తృత వివరణ ఇక్కడ ఉందిసిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ:

గ్యాస్ సరఫరా మరియు నియంత్రణ: సిలికాన్ సోర్స్ గ్యాస్ మరియు కార్బన్ సోర్స్ గ్యాస్‌తో సహా ఎపిటాక్సీ సమయంలో అవసరమైన గ్యాస్ మిశ్రమాన్ని అందించడానికి నాజిల్‌లు ఉపయోగించబడతాయి. నాజిల్ ద్వారా, ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరీతి పెరుగుదల మరియు కావలసిన రసాయన కూర్పును నిర్ధారించడానికి గ్యాస్ ప్రవాహం మరియు నిష్పత్తులను ఖచ్చితంగా నియంత్రించవచ్చు.

● ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ: ఎపిటాక్సీ రియాక్టర్‌లోని ఉష్ణోగ్రతను నియంత్రించడంలో నాజిల్‌లు కూడా సహాయపడతాయి. సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీలో, ఉష్ణోగ్రత వృద్ధి రేటు మరియు క్రిస్టల్ నాణ్యతను ప్రభావితం చేసే కీలకమైన అంశం. నాజిల్‌ల ద్వారా వేడి లేదా శీతలీకరణ వాయువును అందించడం ద్వారా, ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క పెరుగుదల ఉష్ణోగ్రత సరైన వృద్ధి పరిస్థితుల కోసం సర్దుబాటు చేయబడుతుంది.

● గ్యాస్ ప్రవాహ పంపిణీ: నాజిల్స్ రూపకల్పన రియాక్టర్‌లో గ్యాస్ యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని ప్రభావితం చేస్తుంది. ఏకరీతి గ్యాస్ ప్రవాహ పంపిణీ ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరూపతను మరియు స్థిరమైన మందాన్ని నిర్ధారిస్తుంది, భౌతిక నాణ్యత ఏకరూపతకు సంబంధించిన సమస్యలను నివారిస్తుంది.

● అశుద్ధ కాలుష్యం నివారణ: సరైన రూపకల్పన మరియు నాజిల్ యొక్క ఉపయోగం ఎపిటాక్సీ ప్రక్రియలో అశుద్ధ కాలుష్యాన్ని నివారించడంలో సహాయపడుతుంది. తగిన నాజిల్ డిజైన్ రియాక్టర్‌లోకి ప్రవేశించే బాహ్య మలినాలను తగ్గిస్తుంది, ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క స్వచ్ఛత మరియు నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.

సివిడి సిక్ కోటింగ్ ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్:

CVD SIC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు: