నిలువు కొలిమి

నిలువు కొలిమిలలో, SIC పూత రింగుల వాడకం ఒక సాధారణ పరిష్కారం, ప్రధానంగా అధిక-ఉష్ణోగ్రత చికిత్స ప్రక్రియలలో ఉపయోగిస్తారుసెమీకండక్టర్ పొరలు. నిలువు కొలిమి SIC పూత వలయాలు అధిక-పనితీరు, అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధక భాగాలు, ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వం మరియు విశ్వసనీయతను నిర్ధారించడానికి పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి లేదా రక్షించడానికి ఉపయోగించే అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధక భాగాలు.

నిలువు కొలిమి

● విధులు

సహాయక పాత్ర. అధిక-ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలలో పొరలు వాటి స్థిరత్వం మరియు ఖచ్చితమైన స్థానాన్ని నిర్ధారించడానికి మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉపయోగిస్తారు.

●  తుప్పు రక్షణ

మూల పదార్థాన్ని తుప్పు పట్టకుండా తినివేయు వాయువులు లేదా రసాయనాలను నిరోధించండి.

●  కాలుష్యాన్ని తగ్గించండి

అధిక-స్వచ్ఛత SiC పూత ప్రక్రియ పరిశుభ్రతను నిర్ధారించడానికి పార్టికల్ షెడ్డింగ్ మరియు అశుద్ధ కాలుష్యాన్ని సమర్థవంతంగా నిరోధించవచ్చు.

●  అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత

అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో అద్భుతమైన యాంత్రిక లక్షణాలు మరియు డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించండి (సాధారణంగా 1000 ° C కంటే ఎక్కువ).

నిలువు కొలిమి

●  అధిక కాఠిన్యం మరియు బలం

SiC పదార్థాలు అద్భుతమైన యాంత్రిక బలాన్ని కలిగి ఉంటాయి మరియు కొలిమిలో అధిక ఉష్ణోగ్రత ఒత్తిడిని తట్టుకోగలవు.

●  మంచి ఉష్ణ స్థిరత్వం

SIC యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం ఉష్ణ ఒత్తిడిని తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది.

●  బలమైన రసాయన స్థిరత్వం

SIC పూతలు ఆక్సీకరణ, ఆమ్ల లేదా ఆల్కలీన్ పరిసరాలలో తుప్పును నిరోధించగలవు.

●  తక్కువ కణ కాలుష్యం

మృదువైన ఉపరితలం కణాల ఉత్పత్తి యొక్క అవకాశాన్ని తగ్గిస్తుంది, ఇది సెమీకండక్టర్ తయారీ యొక్క అల్ట్రా-క్లీన్ వాతావరణానికి ప్రత్యేకంగా అనుకూలంగా ఉంటుంది.

సిలికాన్ పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు హీట్ ట్రీట్‌మెంట్ సమయంలో కణ కాలుష్యాన్ని నిరోధించడానికి నిలువు ఫర్నేస్‌లలో వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ, ఎనియలింగ్ మరియు ఇతర ప్రక్రియల కోసం ఉపయోగిస్తారు.

తయారీ పదార్థాలు మరియు ప్రక్రియలు

● సబ్‌స్ట్రేట్: అధిక-నాణ్యత గల SGL గ్రాఫైట్‌తో తయారు చేయబడినది, నాణ్యత హామీ ఇవ్వబడుతుంది.

●  పూత: రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) ద్వారా గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత వర్తించబడుతుంది.

●  పూత మందం సాధారణంగా 50~500μm మధ్య ఉంటుంది, ఇది వినియోగ అవసరాలకు అనుగుణంగా సర్దుబాటు చేయబడుతుంది.

●  రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ SiC పూత అధిక స్వచ్ఛత మరియు సాంద్రత మరియు మెరుగైన మన్నికను కలిగి ఉంటుంది.

తగినదాన్ని ఎంచుకోండిSic పూతఫర్నేస్‌లోని సిలికాన్ పొర యొక్క వ్యాసం మరియు క్యారియర్ స్పెసిఫికేషన్‌ల ప్రకారం రింగ్ చేయండి. మేము మీ కోసం దీన్ని అనుకూలీకరించవచ్చు. అధిక స్వచ్ఛత, దట్టమైన పూత మరింత మన్నికైనది మరియు తక్కువ కలుషితమైనది. పూత వృద్ధాప్యం కారణంగా కాలుష్యం లేదా మద్దతు వైఫల్యాన్ని నివారించడానికి ఉపయోగం మరియు ప్రక్రియ అవసరాల యొక్క ఫ్రీక్వెన్సీ ప్రకారం క్రమం తప్పకుండా భర్తీ చేయండి.

చైనాలో ప్రొఫెషనల్ నిలువు కొలిమి SIC కోటెడ్ రింగ్ సరఫరాదారు మరియు తయారీదారుగా, వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు అధునాతన నిలువు కొలిమి సాంకేతికత మరియు ఉత్పత్తి పరిష్కారాలను అందించడానికి చాలాకాలంగా కట్టుబడి ఉంది. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావడానికి మేము హృదయపూర్వకంగా ఎదురుచూస్తున్నాము.

CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్

సివిడి సిక్ పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు

VeTek సెమీకండక్టర్లంబ కొలిమి SIC పూత రింగ్ షాపులు: