TAC పూత గైడ్ రింగులు

TAC పూత గైడ్ రింగుల పనితీరు:

ఖచ్చితమైన వాయువు ప్రవాహ నియంత్రణ: దిTAC కోటింగ్ గైడ్ రింగ్యొక్క గ్యాస్ ఇంజెక్షన్ వ్యవస్థలో వ్యూహాత్మకంగా ఉంచబడుతుందిMOCVD రియాక్టర్. దీని ప్రాధమిక పని పూర్వగామి వాయువుల ప్రవాహాన్ని నిర్దేశించడం మరియు ఉపరితల పొర ఉపరితలం అంతటా వాటి ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారించడం. ఏకరీతి ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదల మరియు కావలసిన పదార్థ లక్షణాలను సాధించడానికి గ్యాస్ ఫ్లో డైనమిక్స్‌పై ఈ ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరం.

ఉష్ణ నిర్వహణ: TAC పూత గైడ్ రింగులు తరచుగా వేడిచేసిన ససెప్టర్ మరియు ఉపరితలంపై సామీప్యత కారణంగా ఎత్తైన ఉష్ణోగ్రతలలో పనిచేస్తాయి. TAC యొక్క అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత వేడిని సమర్థవంతంగా చెదరగొట్టడానికి సహాయపడుతుంది, స్థానికీకరించిన వేడెక్కడం మరియు ప్రతిచర్య జోన్లో స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత ప్రొఫైల్‌ను నిర్వహించడం నిరోధిస్తుంది.

MOCVD లో TAC యొక్క ప్రయోజనాలు:

తీవ్ర ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: TAC అన్ని పదార్థాలలో అత్యధిక ద్రవీభవన స్థానాల్లో ఒకటి, 3800 ° C కంటే ఎక్కువ.

అత్యుత్తమ రసాయన జడత్వం: TAC MOCVD లో ఉపయోగించే రియాక్టివ్ పూర్వగామి వాయువుల నుండి తుప్పు మరియు రసాయన దాడికి అసాధారణమైన నిరోధకతను ప్రదర్శిస్తుంది, అమ్మోనియా, సిలేన్ మరియు వివిధ లోహ-సేంద్రీయ సమ్మేళనాలు.

యొక్క భౌతిక లక్షణాలుTAC పూత:

MOCVD పనితీరు కోసం ప్రయోజనాలు:

MOCVD పరికరాలలో వెటెక్ సెమీకండక్టర్ TAC పూత గైడ్ రింగ్ యొక్క ఉపయోగం గణనీయంగా దోహదం చేస్తుంది:

పెరిగిన పరికరాల సమయ.

మెరుగైన ప్రక్రియ స్థిరత్వం.

మెరుగైన ఎపిటాక్సియల్ లేయర్ ఏకరూపత.ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదలస్థిరమైన మందం మరియు కూర్పుతో.

కర్ణభేరికి కర్రించుటమైక్రోస్కోపిక్ క్రాస్-సెక్షన్‌లో: