సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్

ఇది సెమీకండక్టర్సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ అనేది అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు కఠినమైన వాతావరణాల కోసం రూపొందించిన హీటర్. ఇది తాపన మూలకం యొక్క ఉపరితలంపై సిలికాన్ కార్బన్ సిరామిక్ కోటింగ్ (SIC) పొరను పూస్తుంది, ఇది పరికరాలకు అద్భుతమైన ఉష్ణ నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు ఉష్ణ వాహకతను ఇస్తుంది. 

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ప్రధానంగా వాక్యూమ్ పూత (బాష్పీభవనం) పరికరాలలో ఉపయోగించబడుతుంది. సాధారణంగా ఉపయోగించే పద్ధతులు పిసిడి (ప్లాస్మా కెమికల్ ఎండబెట్టడం) మరియు పివిడి (భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ), ఇవి సెమీకండక్టర్ తయారీ మరియు ఇతర అధిక-డిమాండ్ పారిశ్రామిక అనువర్తనాలలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతున్నాయి.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ యొక్క అధిక-పనితీరు పూత రూపకల్పనతో కలిపి,ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలకు అద్భుతమైన తాపన పరిష్కారాన్ని అందిస్తుంది.

అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత: SIC పదార్థం అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకతను కలిగి ఉంటుంది, ఇది హీటర్ పని ప్రాంతంలో ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని సాధించగలదని మరియు ఉష్ణోగ్రత ప్రవణతలను తగ్గించగలదని నిర్ధారిస్తుంది.

ఏకరీతి ఉష్ణ పంపిణీని అందించండి: సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ తాపన ప్రాంతం అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని సాధించడానికి SIC పదార్థం యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకతను ఉపయోగిస్తుంది. రాపిడ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP), వ్యాప్తి మరియు ఆక్సీకరణ వంటి వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రక్రియలలో సెమీకండక్టర్ పొరల యొక్క ఏకరీతి ఉష్ణ చికిత్సను నిర్ధారించడానికి ఇది చాలా కీలకం, స్థానిక వేడెక్కడం లేదా అసమాన ఉష్ణోగ్రత వల్ల కలిగే ఉత్పత్తి లోపాలను నివారించడం.

అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం: SIC పూత హీటర్ చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకునేలా చేస్తుంది, సాధారణంగా 1600 ° C వరకు, వివిధ అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియలకు అనువైనది.

ఉష్ణ నిరోధకతను మెరుగుపరచండి: పూత చాలా ఎక్కువ ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు కాబట్టి, ఇది దీర్ఘకాలిక అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆపరేషన్ అవసరమయ్యే ప్రక్రియలలో బాగా పనిచేస్తుంది. ఉదాహరణకు, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) ప్రక్రియలలో, సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద పరికరాల యొక్క దీర్ఘకాలిక స్థిరమైన ఆపరేషన్ను నిర్ధారించగలదు మరియు స్థిరమైన తాపన పనితీరును నిర్వహించగలదు, తద్వారా ప్రక్రియ పునరావృత మరియు విశ్వసనీయతను మెరుగుపరుస్తుంది.

రసాయన తుప్పు నిరోధకత: SIC పూత ఆమ్లం, క్షార మరియు తినివేయు వాయువులకు చాలా ఎక్కువ నిరోధకతను కలిగి ఉంది మరియు సంక్లిష్టమైన రసాయన వాతావరణ వాతావరణంలో ఎక్కువ కాలం స్థిరంగా ఉంటుంది, ఇది పరికరాల జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది. 

పరికరాల జీవితాన్ని విస్తరించడం: SIC పూత అద్భుతమైన ఆక్సీకరణ నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద రసాయన కోత మరియు ఆక్సీకరణను సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు. సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలో, ముఖ్యంగా తినివేయు వాయువులు మరియు రసాయనాలను నిర్వహించే వాతావరణంలో ఇది చాలా క్లిష్టమైనది. పూత యొక్క రక్షిత ప్రభావం హీటర్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని గణనీయంగా విస్తరిస్తుంది మరియు పరికరాల పున ment స్థాపన మరియు నిర్వహణ ఖర్చుల యొక్క ఫ్రీక్వెన్సీని తగ్గిస్తుంది.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ హీటర్ షాపులు:

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం: