సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్

ఇది సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్గ్రాఫైట్ యొక్క అద్భుతమైన విద్యుత్ మరియు ఉష్ణ వాహకతను అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు సిలికాన్ కార్బన్ సిరామిక్ పూత యొక్క దుస్తులు నిరోధకతతో మిళితం చేస్తుంది మరియు ఇది కఠినమైన సెమీకండక్టర్ తయారీ వాతావరణాల కోసం రూపొందించబడింది. 

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్ప్రధానంగా వాక్యూమ్ పూత (బాష్పీభవనం) పరికరాలలో ఉపయోగించబడుతుంది మరియు సాధారణంగా ఉపయోగించే పద్ధతులు పిసిడి (ప్లాస్మా కెమికల్ ఎండబెట్టడం) మరియు పివిడి (భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ). సాంకేతిక పురోగతిని ప్రోత్సహించడంలో మరియు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో ఉత్పత్తి సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచడంలో ఈ ఉత్పత్తి ముఖ్యమైన పాత్ర పోషించింది.మీతో మరింత సహకారం కోసం మేము హృదయపూర్వకంగా ఎదురుచూస్తున్నాము.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్ యొక్క పదార్థం మరియు నిర్మాణ లక్షణాలు ఈ క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:

గ్రాఫైట్ ఉపరితలం: గ్రాఫైట్ అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకానికి ప్రసిద్ది చెందింది. ఇది ఉష్ణోగ్రత మార్పులకు త్వరగా స్పందించగలదు మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్మాణాత్మక స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించగలదు.

సిలికాన్ కార్బన్: రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ లేదా ఇతర అధునాతన ప్రక్రియల ద్వారా SIC పూత గ్రాఫైట్ ఉపరితలంపై సమానంగా పూత పూయబడుతుంది. SIC చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం మరియు రసాయన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంది, ఇది గ్రాఫైట్ ఉపరితలాన్ని అధిక-ఉష్ణోగ్రత ఆక్సీకరణ మరియు తినివేయు వాతావరణాల నుండి రక్షించగలదు.

సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్ యొక్క ప్రత్యేక ఉత్పత్తి నిర్మాణ రూపకల్పన నిర్ణయిస్తుందిసెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియలో ఈ ఉత్పత్తి యొక్క భర్తీ చేయలేని ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు:

సమర్థవంతమైన మరియు ఏకరీతి తాపన:

ఉష్ణ వాహకత: గ్రాఫైట్ యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత హీటర్ అవసరమైన ఉష్ణోగ్రతను త్వరగా చేరుకోవడానికి మరియు నిర్వహించడానికి అనుమతిస్తుంది, మరియు SIC పూత వేడి యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది. రాపిడ్ థర్మల్ ప్రాసెసింగ్ (RTP) మరియు రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (CVD) వంటి ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలకు ఇది చాలా ముఖ్యం.

ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత.

యాంటీ కోరోషన్ రక్షణ:

రసాయన నిరోధకత. రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి) మరియు ప్లాస్మా మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (పిఇసివిడి) వంటి ప్రక్రియలలో ఈ లక్షణం చాలా కీలకం.

ఆక్సీకరణ నిరోధకత: అధిక ఉష్ణోగ్రతల వద్ద, SIC పూత గ్రాఫైట్ ఉపరితలం యొక్క ఆక్సీకరణను నిరోధించవచ్చు, హీటర్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని పొడిగిస్తుంది మరియు పరికరాల నిర్వహణ యొక్క ఫ్రీక్వెన్సీ మరియు ఖర్చును తగ్గిస్తుంది.

కణ కాలుష్యాన్ని తగ్గించండి:

ఉపరితల స్థిరత్వం.

ప్రక్రియ విశ్వసనీయత మరియు సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరచండి:

దీర్ఘకాల రూపకల్పన.

సమర్థవంతమైన శక్తి వినియోగం: గ్రాఫైట్ యొక్క అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు SIC పూత యొక్క అధిక-ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ ఖచ్చితత్వాన్ని మెరుగుపరిచేటప్పుడు హీటర్ శక్తి వినియోగాన్ని తగ్గించడానికి వీలు కల్పిస్తుంది, తద్వారా సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తి యొక్క మొత్తం సామర్థ్యాన్ని మెరుగుపరుస్తుంది.

యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలుసిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్:

ఇది సెమీకండక్టర్సిలికాన్ కార్బైడ్ సిరామిక్ కోటింగ్ గ్రాఫైట్ హీటర్దుకాణాలు:

సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం:

/ఇతర-ప్రక్రియ