Sic పూత కలెక్టర్ దిగువ

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ తయారీదారు అధిక నాణ్యతను అందించడానికి కట్టుబడి ఉందిCVD TAC పూతమరియు CVD SIC పూత కలెక్టర్ దిగువ మరియు మా వినియోగదారుల అవసరాలను తీర్చడానికి ఐక్స్ట్రాన్ పరికరాలతో కలిసి పనిచేయండి. ప్రాసెస్ ఆప్టిమైజేషన్ లేదా క్రొత్త ఉత్పత్తి అభివృద్ధిలో అయినా, మీకు సాంకేతిక మద్దతును అందించడానికి మరియు మీకు ఏవైనా ప్రశ్నలకు సమాధానం ఇవ్వడానికి మేము సిద్ధంగా ఉన్నాము.

ఉత్పత్తి కోర్ ఫంక్షన్

ప్రాసెస్ స్టెబిలిటీ గ్యారెంటీ

ఉష్ణోగ్రత ప్రవణత నియంత్రణ: ±1.5℃/cm@1200℃

ఫ్లో ఫీల్డ్ ఆప్టిమైజేషన్: స్పెషల్ ఛానల్ డిజైన్ రియాక్షన్ గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ఏకరూపతను 92.6% వరకు చేస్తుంది

పరికరాల రక్షణ విధానం

ద్వంద్వ రక్షణ:

థర్మల్ షాక్ బఫర్: 10 ℃/s వేగవంతమైన ఉష్ణోగ్రత మార్పును తట్టుకోండి

కణ అంతరాయం: ట్రాపింగ్> 0.3μm అవక్షేప కణాలు

అత్యాధునిక సాంకేతిక రంగంలో

మొత్తం ప్రక్రియ నాణ్యత నియంత్రణ

ఉత్పత్తి గుర్తించదగిన వ్యవస్థ

ముడి పదార్థాల మూలం: జపాన్ నుండి టోకై/టొయో గ్రాఫైట్, జర్మనీ నుండి SGL గ్రాఫైట్

డిజిటల్ ట్విన్ పర్యవేక్షణ: ప్రతి భాగం స్వతంత్ర ప్రాసెస్ పారామితి డేటాబేస్కు సరిపోతుంది

అప్లికేషన్ దృష్టాంతం:

మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ తయారీ

దృష్టాంతం: 6-అంగుళాల SIC ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల (100-150μm మందం నియంత్రణ)

అనుకూల మోడల్: ఐక్స్ట్రాన్ G5 WW/CRIUS II

ఐక్స్ట్రాన్ SIC కోటెడ్ కలెక్టర్ టాప్, కలెక్టర్ సెంటర్ మరియు SIC కోటెడ్ కలెక్టర్ ఉపయోగించడం ద్వారా, సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియలలో థర్మల్ మేనేజ్‌మెంట్ మరియు రసాయన రక్షణను సాధించవచ్చు, చలనచిత్ర వృద్ధి వాతావరణాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేయవచ్చు మరియు చిత్రం యొక్క నాణ్యత మరియు స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచవచ్చు. ఐక్స్ట్రాన్ పరికరాలలో ఈ భాగాల కలయిక స్థిరమైన ప్రక్రియ పరిస్థితులు మరియు సమర్థవంతమైన సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తిని నిర్ధారిస్తుంది.

సివిడి సిక్ ఫిల్మ్ యొక్క సెమ్ డేటా