ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
Sదార్యం
  • Sదార్యంSదార్యం

Sదార్యం

ఎపిటాక్సీ అనేది సెమీకండక్టర్ పరికర తయారీలో కొత్త సెమీకండక్టర్ లేయర్‌ను తయారు చేయడానికి ఇప్పటికే ఉన్న చిప్‌లో కొత్త స్ఫటికాలను పెంచడానికి ఉపయోగించే ఒక సాంకేతికత.VeTek సెమీకండక్టర్ LPE సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ రియాక్షన్ ఛాంబర్‌ల కోసం సమగ్రమైన కాంపోనెంట్ సొల్యూషన్‌లను అందిస్తుంది, ఇది సుదీర్ఘ జీవితకాలం, స్థిరమైన నాణ్యత మరియు మెరుగైన ఎపిటాక్సియల్‌ను అందిస్తుంది. పొర దిగుబడి. SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ వంటి మా ఉత్పత్తి కస్టమర్‌ల నుండి పొజిషన్ ఫీడ్‌బ్యాక్‌ను పొందింది. మేము Si Epi, SiC Epi, MOCVD, UV-LED Epitaxy మరియు మరిన్నింటికి సాంకేతిక మద్దతును కూడా అందిస్తాము. ధర సమాచారం కోసం విచారించడానికి సంకోచించకండి.

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ ఒక ప్రముఖ చైనా SIC పూత మరియు TAC పూత తయారీదారు, సరఫరాదారు మరియు ఎగుమతిదారు. ఉత్పత్తుల యొక్క ఖచ్చితమైన నాణ్యతను అనుసరించడానికి కట్టుబడి, మా SIC పూత బారెల్ ససెప్టర్ చాలా మంది వినియోగదారులచే సంతృప్తి చెందారు. విపరీతమైన డిజైన్, నాణ్యమైన ముడి పదార్థాలు, అధిక పనితీరు మరియు పోటీ ధర ప్రతి కస్టమర్ కోరుకుంటున్నది మరియు మేము మీకు అందించేది కూడా అదే. వాస్తవానికి, మా పరిపూర్ణ అమ్మకాల తర్వాత సేవ కూడా అవసరం. మీరు మా SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ సేవలపై ఆసక్తి కలిగి ఉంటే, మీరు ఇప్పుడే మమ్మల్ని సంప్రదించవచ్చు, మేము మీకు సకాలంలో ప్రత్యుత్తరం ఇస్తాము!


వెటెక్ సెమీకండక్టర్ SIC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ ప్రధానంగా LPE SI EPI రియాక్టర్లకు ఉపయోగించబడుతుంది


SiC Coated Barrel Susceptor products

LPE (లిక్విడ్ ఫేజ్ ఎపిటాక్సీ) సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ అనేది సిలికాన్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై సింగిల్-క్రిస్టల్ సిలికాన్ యొక్క పలుచని పొరలను డిపాజిట్ చేయడానికి సాధారణంగా ఉపయోగించే సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ టెక్నిక్. ఇది క్రిస్టల్ పెరుగుదలను సాధించడానికి ఒక ద్రావణంలో రసాయన ప్రతిచర్యల ఆధారంగా ద్రవ-దశ వృద్ధి పద్ధతి.


LPE సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ యొక్క ప్రాథమిక సూత్రం, ఉపరితలాన్ని కావలసిన పదార్థాన్ని కలిగి ఉన్న ద్రావణంలో మునిగిపోతుంది, ఉష్ణోగ్రత మరియు పరిష్కార కూర్పును నియంత్రించడం, ద్రావణంలోని పదార్థం ఒకే-క్రిస్టల్ సిలికాన్ పొరగా పెరగడానికి అనుమతిస్తుంది ఉపరితల ఉపరితలంపై. ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల సమయంలో పెరుగుదల పరిస్థితులు మరియు పరిష్కార కూర్పును సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా, కావలసిన క్రిస్టల్ నాణ్యత, మందం మరియు డోపింగ్ ఏకాగ్రతను సాధించవచ్చు.


SiC Coated Barrel Susceptor Application Scenarios

LPE సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ అనేక లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలను అందిస్తుంది. మొదట, ఇది సాపేక్షంగా తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద నిర్వహించబడుతుంది, పదార్థంలో ఉష్ణ ఒత్తిడి మరియు అశుద్ధ వ్యాప్తిని తగ్గిస్తుంది. రెండవది, LPE సిలికాన్ ఎపిటాక్సీ అధిక-పనితీరు గల సెమీకండక్టర్ పరికరాలను తయారు చేయడానికి అనువైన అధిక ఏకరూపత మరియు అద్భుతమైన క్రిస్టల్ నాణ్యతను అందిస్తుంది. అదనంగా, LPE సాంకేతికత బహుళస్థాయి మరియు హెటెరోస్ట్రక్చర్ల వంటి సంక్లిష్ట నిర్మాణాల వృద్ధిని అనుమతిస్తుంది.


LPE సిలికాన్ ఎపిటాక్సీలో, SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ అనేది కీలకమైన ఎపిటాక్సియల్ భాగం. ఇది సాధారణంగా ఉష్ణోగ్రత మరియు వాతావరణ నియంత్రణను అందించేటప్పుడు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదలకు అవసరమైన సిలికాన్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లను పట్టుకోవడానికి మరియు మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉపయోగించబడుతుంది. SiC పూత అధిక-ఉష్ణోగ్రత మన్నిక మరియు ససెప్టర్ యొక్క రసాయన స్థిరత్వాన్ని పెంచుతుంది, ఎపిటాక్సియల్ గ్రోత్ ప్రాసెస్ యొక్క అవసరాలను తీరుస్తుంది. SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, అధిక-నాణ్యత ఎపిటాక్సియల్ లేయర్‌ల పెరుగుదలను నిర్ధారిస్తూ, ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల యొక్క సామర్థ్యం మరియు స్థిరత్వాన్ని మెరుగుపరచవచ్చు.


CVD SiC పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు

సివిడి సిక్ పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం FCC β దశ పాలిక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఆధారితమైనది
SiC పూత సాంద్రత 3.21 గ్రా/సెం³
CVD SiC పూత కాఠిన్యం 2500 వికర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్)
ధాన్యం పరిమాణం 2 ~ 10 మిమీ
రసాయన స్వచ్ఛత 99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం 640 J · kg-1·కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత 2700
ఫ్లెక్చురల్ బలం 415 MPa RT 4-పాయింట్
యంగ్ మాడ్యులస్ 430 Gpa 4pt బెండ్, 1300℃
ఉష్ణ వాహకత 300W · M-1·కె-1
ఉష్ణ విస్తరణ (సిటిఇ) 4.5 × 10-6K-1


CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్

CVD SIC COATING FILM CRYSTAL STRUCTURE


ఇది సెమీకండక్టర్SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్ ఉత్పత్తి దుకాణాలు

SiC Graphite substrateSiC Coated Barrel Susceptor testSilicon carbide ceramic processingEPI process equipment


హాట్ ట్యాగ్‌లు: SiC కోటెడ్ బారెల్ ససెప్టర్
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇ-మెయిల్

    anny@veteksemi.com

సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత, టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత, ప్రత్యేక గ్రాఫైట్ లేదా ధరల జాబితా గురించి విచారణల కోసం, దయచేసి మీ ఇమెయిల్‌ను మాకు పంపండి మరియు మేము 24 గంటల్లోగా సన్నిహితంగా ఉంటాము.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept