వెబ్ మెనూ

ఉత్పత్తి శోధన

భాష

ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్
  • అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్

అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN) సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్

VeTek అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ (ESCలు) అనేది సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ సాధనాల కోసం రూపొందించబడిన అధిక-ఉష్ణ-వాహకత పొర బిగింపు ప్లాట్‌ఫారమ్‌లు, ఇవి ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ, స్థిరమైన ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ హోల్డింగ్ మరియు తక్కువ కణాల ఉత్పత్తిని కోరుతాయి. అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన AlN సెరామిక్స్ నుండి తయారు చేయబడిన ఈ చక్‌లు అద్భుతమైన ఉష్ణ వ్యాప్తి, అధిక విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ మరియు 150 mm, 200 mm మరియు 300 mm పొర ప్రక్రియలకు నమ్మకమైన కూలంబ్ లేదా జాన్సెన్-రాహ్బెక్ బిగింపును అందిస్తాయి.
    విచారణ పంపండి
    రేటింగ్: 5.0
    (రేటింగ్ కౌంట్: 1)
    ఉత్పత్తి వివరణ

    1.ప్రయోజనాలు

    • సమర్థవంతమైన ఉష్ణ బదిలీ మరియు ఉష్ణోగ్రత ఏకరూపత కోసం ~180 W/m·K వరకు ఉష్ణ వాహకతతో అధిక స్వచ్ఛత AlN సిరామిక్

    • బలమైన విద్యుత్ ఇన్సులేషన్ మరియు అధిక వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ 1-3 kV వద్ద స్థిరమైన బిగింపుకు మద్దతు ఇస్తుంది (అధిక వోల్టేజీలు అందుబాటులో ఉన్నాయి)

    • అనుకూల విద్యుద్వాహక పొర పదార్థాలు మరియు ఎలక్ట్రోడ్ లేఅవుట్‌లు: కూలంబ్ లేదా జాన్సెన్-రహ్బెక్ (JR); సింగిల్ లేదా బహుళ-జోన్

    • ఫాస్ట్ క్లాంప్ మరియు డి-క్లాంప్ పనితీరు, సాధారణంగా 0.1 సెకనులోపు

    • ~300 μm వ్యాసం వరకు ఉపరితల డింపుల్ మైక్రోస్ట్రక్చర్‌లు, సంపర్క ప్రాంతాన్ని ~1%కి తగ్గించడం

    • అధిక ఫ్లాట్‌నెస్ సామర్థ్యం; 300 mm క్లాస్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ల కోసం 0.5–3 μm PV క్రమంలో సాధారణ గ్లోబల్ ఫ్లాట్‌నెస్

    • దాదాపు సున్నా నీటి శోషణ మరియు ప్రక్రియ పరిసరాలకు మంచి రసాయన నిరోధకతతో దట్టమైన సూక్ష్మ నిర్మాణం

    2.సాధారణ అప్లికేషన్లు

    అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్‌లు సురక్షితమైన పొర హోల్డింగ్ మరియు నియంత్రిత ఉష్ణ ప్రవర్తన రెండూ అవసరమయ్యే ప్రక్రియ దశల్లో ఉపయోగించబడతాయి:

    • డ్రై ప్లాస్మా ఎట్చ్ (ICP / RIE) మరియు సంబంధిత చాంబర్ ప్రక్రియలు

    • CVD, PEALD, థర్మల్ ALD మరియు ఇతర సన్నని-ఫిల్మ్ నిక్షేపణ దశలు

    • ఏకరీతి పొర ఉష్ణోగ్రత అవసరమయ్యే ఎనియలింగ్ మరియు థర్మల్ ప్రాసెస్ మాడ్యూల్స్

    • తనిఖీ, మెట్రాలజీ మరియు ఖచ్చితత్వ దశలు తక్కువ కణాలు మరియు స్థిరమైన బిగింపు కీలకం

    3.AlN మెటీరియల్ గ్రేడ్‌లు - సాధారణ లక్షణాలు

    VeTek ఉష్ణ వాహకత, మెకానికల్ బలం మరియు ESC డిజైన్‌ల కోసం ఖర్చును సమతుల్యం చేయడానికి బహుళ అల్యూమినియం నైట్రైడ్ గ్రేడ్‌లను అందిస్తుంది:

    ఆస్తి

    AIN-HC95

    AIN-HP95

    AIN99

    AIN999

    AIN-HP999

    AIN-HP999LR

    రంగు

    బూడిద రంగు

    బూడిద రంగు

    బూడిద రంగు

    బూడిద రంగు

    బూడిద రంగు

    బూడిద రంగు

    స్వచ్ఛత

    ≥95%

    ≥95%

    ≥99%

    ≥99.9%

    ≥99.9%

    ≥99.9%

    సాంద్రత (గ్రా/సెం³)

    3.3

    3.3

    3.3

    3.2

    3.3

    3.3

    నీటి శోషణ (%)

    0

    0

    0

    0

    0

    0

    HV కాఠిన్యం (GPa)

    10

    10

    10

    10

    10

    10

    ఫ్లెక్చురల్ స్ట్రెంత్ (MPa)

    380

    400

    350

    310

    360

    310

    సాగే మాడ్యులస్ (GPa)

    320

    300

    300

    300

    300

    300

    ఫ్రాక్చర్ దృఢత్వం

    3

    3.4

    3

    2.8

    2.3

    3.3

    CTE (×10⁻⁶/°C)

    4.6

    5.7

    5.2

    5.5

    5.7

    5.4

    ఉష్ణ వాహకత

    180

    180

    100

    90

    90

    90

    థర్మల్ షాక్ (°C)

    400

    500

    —

    —

    350

    —

    విద్యుద్వాహక బలం

    16

    16

    —

    16

    —

    —

    వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ

    1×10¹⁴

    1×10¹⁵

    1×10¹⁵

    —

    1×10¹⁵

    సర్దుబాటు

    విద్యుద్వాహక స్థిరాంకం

    8.6

    8.6

    8.5

    8.5

    —

    —

    యూనిట్లు: W/(m·K)లో ఉష్ణ వాహకత; kV/mm లో విద్యుద్వాహక బలం; Ω·cm (25 °C)లో వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ; 1 MHz వద్ద విద్యుద్వాహక స్థిరాంకం. విలువలు విలక్షణమైనవి మరియు ప్రక్రియ మరియు పార్ట్ జ్యామితితో మారవచ్చు.

    4.సాధారణ ESC డిజైన్ పారామితులు

    పరామితి

    సాధారణ విలువ / పరిధి

    సిరామిక్ పదార్థం

    అల్యూమినియం నైట్రైడ్ (AlN)

    ESC రకం

    కూలంబ్ / జాన్సెన్-రాహ్బెక్ (JR)

    ఎలక్ట్రోడ్ లేఅవుట్

    సింగిల్ లేదా బహుళ-జోన్

    తయారీ మార్గం

    హాట్ నొక్కడం (అధిక-TC గ్రేడ్‌లకు AlN ప్రాధాన్యత ఇవ్వబడుతుంది)

    బిగింపు / డి-క్లాంప్ సమయం

    < 0.1 సె (సాధారణ)

    డింపుల్ వ్యాసం (నిమి.)

    ~300 μm

    సంప్రదింపు ప్రాంతం (గుంటలతో)

    ~1%కి తగ్గించవచ్చు

    గ్లోబల్ ఫ్లాట్‌నెస్ (300 మిమీ క్లాస్)

    ~0.5–3 μm PV (సాధారణ)

    బిగింపు వోల్టేజ్

    1-3 kV ప్రమాణం; డిజైన్లు>15 kV సాధ్యం

    5.ఎందుకు చూVeTek AlN ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్?

    VeTek సెమీకండక్టర్ థర్మల్ పనితీరు మరియు నమ్మకమైన బిగింపు రెండూ అవసరమయ్యే సెమీకండక్టర్ కస్టమర్‌ల కోసం ఖచ్చితమైన ESC తయారీతో అధునాతన AlN సిరామిక్స్‌ను అనుసంధానిస్తుంది:

    • ప్రాసెస్ థర్మల్ బడ్జెట్‌లను సరిపోల్చడానికి ~90 నుండి ~180 W/m·K వరకు ఉష్ణ వాహకతతో బహుళ AlN గ్రేడ్‌లు

    • కూలంబ్ లేదా JR బిగింపు ప్రవర్తన కోసం ఫ్లెక్సిబుల్ ఎలక్ట్రోడ్ మరియు డైలెక్ట్రిక్ డిజైన్

    • ఫ్లాట్‌నెస్, ఉపరితల మైక్రోస్ట్రక్చర్ మరియు ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేషన్ పనితీరుపై గట్టి నియంత్రణ

    • పూర్తి జీవితచక్ర మద్దతు: డిజైన్, కొత్త బిల్డ్ మరియు బహుళ-స్థాయి పునరుద్ధరణ

    ఏకరీతి పొర ఉష్ణోగ్రత మరియు శుభ్రమైన, పునరావృతమయ్యే బిగింపుపై ఆధారపడిన ఎట్చ్, డిపాజిషన్ మరియు థర్మల్ టూల్స్ కోసం, VeTek అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్స్ అప్లికేషన్-ఫోకస్డ్ ఇంజినీరింగ్ మద్దతుతో కూడిన అధిక-పనితీరు గల సిరామిక్ ప్లాట్‌ఫారమ్‌ను అందిస్తాయి.

    సంబంధిత వర్గం
    విచారణ పంపండి
    సంప్రదింపు సమాచారం

    • చిరునామా

      వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

    • Tel

      +86-18069220752

    • ఇమెయిల్

      anny@veteksemi.com

    For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
    NAME WuYi TianYao కొత్త మెటీరియల్ టెక్.కో., లిమిటెడ్.
    జోడించు వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా
    TEL +86-579-87223657
    ఫ్యాక్స్ +86-579-87223657
    సెరా +86-15988690905
    టీనా +86-18069220752
    ఇ-మెయిల్ anny@veteksemi.com
    వెబ్ www.veteksemicon.com
    రేటింగ్:
    5.0
    సంబంధిత ఉత్పత్తులు
    అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్ డిస్క్
    అల్యూమినియం నైట్రైడ్ సిరామిక్ డిస్క్ మరిన్ని చూడండి >>
    వార్తల సిఫార్సులు
    సెమీకండక్టర్ ఫీల్డ్‌లో TAC పూత భాగాల యొక్క నిర్దిష్ట అనువర్తనం ఏమిటి?
    సెమీకండక్టర్ ఫీల్డ్‌లో TAC పూత భాగాల యొక్క నిర్దిష్ట అనువర్తనం ఏమిటి?మరిన్ని చూడండి >>
    అధిక-స్వచ్ఛత పోరస్ గ్రాఫైట్ అంటే ఏమిటి?
    అధిక-స్వచ్ఛత పోరస్ గ్రాఫైట్ అంటే ఏమిటి?మరిన్ని చూడండి >>
    వెటెక్సెమికన్ యొక్క SIC పూత/ TAC పూత మరియు ఎపిటాక్సీ ప్రాసెస్ ఫ్యాక్టరీని సందర్శించడానికి వినియోగదారులకు స్వాగతం
    వెటెక్సెమికన్ యొక్క SIC పూత/ TAC పూత మరియు ఎపిటాక్సీ ప్రాసెస్ ఫ్యాక్టరీని సందర్శించడానికి వినియోగదారులకు స్వాగతంమరిన్ని చూడండి >>
    భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ పూత యొక్క సూత్రాలు మరియు సాంకేతికత (1/2) - వెటెక్ సెమీకండక్టర్
    భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ పూత యొక్క సూత్రాలు మరియు సాంకేతికత (1/2) - వెటెక్ సెమీకండక్టర్మరిన్ని చూడండి >>
    ఐసోట్రోపిక్ గ్రాఫైట్ మరియు సిలికానైజ్డ్ గ్రాఫైట్ మధ్య తేడాలు ఏమిటి?
    ఐసోట్రోపిక్ గ్రాఫైట్ మరియు సిలికానైజ్డ్ గ్రాఫైట్ మధ్య తేడాలు ఏమిటి?మరిన్ని చూడండి >>
    PECVD కోసం గ్రాఫైట్ బోట్ ఫిల్మ్ క్వాలిటీ మరియు ప్రొడక్షన్ స్టెబిలిటీకి ఎందుకు చాలా ముఖ్యమైనది?
    PECVD కోసం గ్రాఫైట్ బోట్ ఫిల్మ్ క్వాలిటీ మరియు ప్రొడక్షన్ స్టెబిలిటీకి ఎందుకు చాలా ముఖ్యమైనది?మరిన్ని చూడండి >>
    X
    మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు. గోప్యతా విధానం
    తిరస్కరించుఅంగీకరించు