ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి ఫర్నేస్

సెమీకండక్టర్ పరికరాలు, వివిక్త పరికరాలు, ఆప్టోఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు, పవర్ ఎలక్ట్రానిక్ పరికరాలు, సౌర ఘటాలు మరియు పెద్ద-స్థాయి ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ తయారీ వంటి వివిధ రంగాలలో ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి ఫర్నేసులు ఉపయోగించబడతాయి. అవి వ్యాఫర్‌ల వ్యాప్తి, ఆక్సీకరణ, ఎనియలింగ్, మిశ్రమం మరియు సింటరింగ్‌తో సహా ప్రక్రియల కోసం ఉపయోగించబడతాయి.

VeTek సెమీకండక్టర్ అనేది ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి ఫర్నేస్‌లలో అధిక స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్, సిలికాన్ కార్బైడ్ మరియు క్వార్ట్జ్ భాగాల ఉత్పత్తిలో ప్రత్యేకత కలిగిన ప్రముఖ తయారీదారు. మేము సెమీకండక్టర్ మరియు ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమల కోసం అధిక-నాణ్యత ఫర్నేస్ భాగాలను అందించడానికి కట్టుబడి ఉన్నాము మరియు CVD-SiC, CVD-TaC, పైరోకార్బన్ మొదలైన ఉపరితల పూత సాంకేతికతలో ముందంజలో ఉన్నాము.

VeTek సెమీకండక్టర్ సిలికాన్ కార్బైడ్ భాగాల ప్రయోజనాలు:

అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత (1600℃ వరకు)

అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వం

మంచి రసాయన తుప్పు నిరోధకత

ఉష్ణ విస్తరణ యొక్క తక్కువ గుణకం

అధిక బలం మరియు కాఠిన్యం

సుదీర్ఘ సేవా జీవితం

ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి ఫర్నేస్‌లలో, అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాయువుల ఉనికి కారణంగా, అనేక భాగాలకు అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు-నిరోధక పదార్థాలను ఉపయోగించడం అవసరం, వీటిలో సిలికాన్ కార్బైడ్ (SiC) సాధారణంగా ఉపయోగించే ఎంపిక. ఆక్సిడేషన్ ఫర్నేసులు మరియు డిఫ్యూజన్ ఫర్నేసులలో కనిపించే సాధారణ సిలికాన్ కార్బైడ్ భాగాలు క్రిందివి:

వేఫర్ బోట్

సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర పడవ అనేది సిలికాన్ పొరలను తీసుకువెళ్లడానికి ఉపయోగించే ఒక కంటైనర్, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగలదు మరియు సిలికాన్ పొరలతో చర్య తీసుకోదు.

ఫర్నేస్ ట్యూబ్

ఫర్నేస్ ట్యూబ్ అనేది డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ యొక్క ప్రధాన భాగం, ఇది సిలికాన్ పొరలను ఉంచడానికి మరియు ప్రతిచర్య వాతావరణాన్ని నియంత్రించడానికి ఉపయోగించబడుతుంది. సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లు అద్భుతమైన అధిక-ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పు నిరోధక పనితీరును కలిగి ఉంటాయి.

బేఫిల్ ప్లేట్

కొలిమి లోపల గాలి ప్రవాహాన్ని మరియు ఉష్ణోగ్రత పంపిణీని నియంత్రించడానికి ఉపయోగిస్తారు

థర్మోకపుల్ ప్రొటెక్షన్ ట్యూబ్

తినివేయు వాయువులతో ప్రత్యక్ష సంబంధం నుండి ఉష్ణోగ్రత కొలిచే థర్మోకపుల్‌లను రక్షించడానికి ఉపయోగిస్తారు.

కాంటిలివర్ తెడ్డు

సిలికాన్ కార్బైడ్ కాంటిలివర్ తెడ్డులు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పుకు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి మరియు సిలికాన్ పొరలను మోసే సిలికాన్ బోట్‌లు లేదా క్వార్ట్జ్ బోట్‌లను డిఫ్యూజన్ ఫర్నేస్ ట్యూబ్‌లలోకి రవాణా చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు.

గ్యాస్ ఇంజెక్టర్

కొలిమిలోకి ప్రతిచర్య వాయువును ప్రవేశపెట్టడానికి ఉపయోగిస్తారు, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తుప్పుకు నిరోధకతను కలిగి ఉండాలి.

బోట్ క్యారియర్

సిలికాన్ కార్బైడ్ పొర బోట్ క్యారియర్ సిలికాన్ పొరలను సరిచేయడానికి మరియు మద్దతు ఇవ్వడానికి ఉపయోగించబడుతుంది, ఇవి అధిక బలం, తుప్పు నిరోధకత మరియు మంచి నిర్మాణ స్థిరత్వం వంటి ప్రయోజనాలను కలిగి ఉంటాయి.

కొలిమి తలుపు

కొలిమి తలుపు లోపలి భాగంలో సిలికాన్ కార్బైడ్ పూతలు లేదా భాగాలను కూడా ఉపయోగించవచ్చు.

హీటింగ్ ఎలిమెంట్

సిలికాన్ కార్బైడ్ హీటింగ్ ఎలిమెంట్స్ అధిక ఉష్ణోగ్రతలు, అధిక శక్తికి అనుకూలంగా ఉంటాయి మరియు త్వరగా ఉష్ణోగ్రతలను 1000℃కి పెంచుతాయి.

SiC లైనర్

కొలిమి గొట్టాల లోపలి గోడను రక్షించడానికి ఉపయోగిస్తారు, ఇది ఉష్ణ శక్తి నష్టాన్ని తగ్గించడంలో సహాయపడుతుంది మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు అధిక పీడనం వంటి కఠినమైన వాతావరణాలను తట్టుకుంటుంది.