LPE హాఫ్మూన్ SIC EPI రియాక్టర్

LPE హాఫ్మూన్ SIC EPI రియాక్టర్అధిక-నాణ్యతను ఉత్పత్తి చేయడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించిన పరికరంసిలికాన్ కార్బిడ్ (సిక్)పొరలు, ఇక్కడ ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియ LPE హాఫ్-మూన్ రియాక్షన్ చాంబర్‌లో సంభవిస్తుంది, ఇక్కడ ఉపరితలం అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాయువులు వంటి తీవ్రమైన పరిస్థితులకు గురవుతుంది. ప్రతిచర్య గది భాగాల సేవా జీవితం మరియు పనితీరును నిర్ధారించడానికి, రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి)Sic పూతసాధారణంగా ఉపయోగించబడుతుంది. 

LPE హాఫ్మూన్ SIC EPI రియాక్టర్భాగాలు:

ప్రధాన ప్రతిచర్య గది: ప్రధాన ప్రతిచర్య గది సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) మరియు వంటి అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధక పదార్థాలతో తయారు చేయబడిందిగ్రాఫైట్, ఇవి చాలా ఎక్కువ రసాయన తుప్పు నిరోధకత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత కలిగి ఉంటాయి. ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత సాధారణంగా 1,400 ° C మరియు 1,600 ° C మధ్య ఉంటుంది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాల పెరుగుదలకు మద్దతు ఇస్తుంది. ప్రధాన ప్రతిచర్య గది యొక్క ఆపరేటింగ్ ప్రెజర్ 10 మధ్య ఉంటుంది^-3మరియు 10^-1MBAR, మరియు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల యొక్క ఏకరూపతను ఒత్తిడిని సర్దుబాటు చేయడం ద్వారా నియంత్రించవచ్చు.

తాపన భాగాలు: గ్రాఫైట్ లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) హీటర్లు సాధారణంగా ఉపయోగించబడతాయి, ఇవి అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో స్థిరమైన ఉష్ణ మూలాన్ని అందించగలవు.

LPE హాఫ్‌మూన్ SIC EPI రియాక్టర్ యొక్క ప్రధాన పని అనేది ఎపిటాక్సియల్‌గా అధిక-నాణ్యత సిలికాన్ కార్బైడ్ ఫిల్మ్‌లను పెంచడం. ప్రత్యేకంగా,ఇది క్రింది అంశాలలో వ్యక్తమవుతుంది:

ఎపిటాక్సియల్ పొర పెరుగుదల. అదే సమయంలో, ఎపిటాక్సియల్ పొర యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి ప్రధాన ప్రతిచర్య గదిలో గ్యాస్ ప్రవాహం రేటు సాధారణంగా 10–100 SCCM (నిమిషానికి ప్రామాణిక క్యూబిక్ సెంటీమీటర్లు) వద్ద నియంత్రించబడుతుంది.

అధిక ఉష్ణోగ్రత స్థిరత్వం: SIC ఎపిటాక్సియల్ పొరలు ఇప్పటికీ అధిక ఉష్ణోగ్రత, అధిక పీడనం మరియు అధిక పౌన frequency పున్య వాతావరణాల క్రింద అద్భుతమైన పనితీరును నిర్వహించగలవు.

లోపం సాంద్రతను తగ్గించండి.

సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమకు అధునాతన సాంకేతికత మరియు ఉత్పత్తి పరిష్కారాలను అందించడానికి వెటెక్ సెమీకండక్టర్ కట్టుబడి ఉంది. అదే సమయంలో, మేము అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తి సేవలకు మద్దతు ఇస్తున్నాము.చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము హృదయపూర్వకంగా ఆశిస్తున్నాము.

CVD SIC ఫిల్మ్ క్రిస్టల్ స్ట్రక్చర్ యొక్క SEM డేటా:

సివిడి సిక్ పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు：

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ LPE హాఫిక్ ఉత్పత్తి షాపులు: