అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ వేఫర్ బోట్

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ యొక్క హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ పొర పడవ అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్‌తో తయారు చేయబడింది, ఇది తక్కువ హైడ్రాక్సిల్ కంటెంట్, అధిక స్వచ్ఛత మరియు బలమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత యొక్క లక్షణాలను కలిగి ఉంటుంది. ఈ పదార్థం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది, ఇది డిఫ్యూజన్ ఫర్నేసులు మరియు సివిడి కొలిమి భాగాలకు ఒక పదార్థంగా. సిలికాన్ పొరలను మోయడానికి కంటైనర్‌గా, సెమీకండక్టర్, ఫోటోవోల్టాయిక్, రసాయన మరియు ఇతర రంగాలలో హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ బోట్ పొరను ఉపయోగించారు.

అప్లికేషన్ దృశ్యాలు

మొదటిది సెమీకండక్టర్ ఫీల్డ్. థర్మల్ ఆక్సీకరణ, వ్యాప్తి, ఎనియలింగ్ మొదలైన వాటితో సహా పొరల యొక్క వేడి చికిత్స ప్రక్రియ చాలా ముఖ్యమైనది. వేడి చికిత్స ప్రక్రియ ద్వారా, మేము పొరలకు కొత్త లక్షణాలను అందిస్తాము.

బ్యాచ్ ఫర్నేస్ కోర్ ట్యూబ్‌లు థర్మల్ ఆక్సిడేషన్, హై టెంపరేచర్ డిఫ్యూజన్, ఎనియలింగ్ మరియు థిన్ ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ వంటి సెమీకండక్టర్ వేఫర్ ప్రాసెసింగ్ ప్రక్రియల కోసం ఉపయోగించబడతాయి. బ్యాచ్ హీటింగ్ ఫర్నేస్ ప్రధానంగా హీట్ ట్రీట్‌మెంట్ పూర్తి చేయడానికి ఫర్నేస్ బాడీని కాయిల్స్ ద్వారా వేడి చేయడానికి ఉపయోగిస్తారు. వేర్వేరు పని నిర్మాణాల ప్రకారం, బ్యాచ్ ఫర్నేస్ కోర్ ట్యూబ్‌లను క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేసులు మరియు నిలువు ఫర్నేసులుగా విభజించవచ్చు:

(1) క్షితిజ సమాంతర కొలిమి యొక్క అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ వేఫర్ బోట్ క్షితిజ సమాంతరంగా ఉంచబడుతుంది, కాబట్టి దీనిని క్షితిజ సమాంతర కొలిమి అంటారు.

ఉష్ణ చికిత్స ప్రక్రియలో, పొర అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ పొర పడవలో లోడ్ చేయబడుతుంది, నెమ్మదిగా క్వార్ట్జ్ కొలిమి గొట్టంలోకి పంపబడుతుంది మరియు ప్రాసెసింగ్ కోసం పొర స్థిరమైన ఉష్ణోగ్రత జోన్లో ఉంచబడుతుంది. ప్రక్రియ పూర్తయ్యే వరకు వేచి ఉన్న తరువాత, ఆకస్మిక ఉష్ణోగ్రత మార్పుల కారణంగా పొర దెబ్బతినకుండా నిరోధించడానికి వాటర్ ఉపయోగించిన క్వార్ట్జ్ బోట్ క్వార్ట్జ్ కొలిమి నుండి నెమ్మదిగా బయటకు తీయబడుతుంది. 200 మిమీ కంటే తక్కువ పొర వ్యాసాలతో ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ల విస్తరణ ప్రక్రియలో క్షితిజ సమాంతర కొలిమిలను విస్తృతంగా ఉపయోగిస్తారు. 

క్షితిజ సమాంతర ఫర్నేసుల యొక్క ప్రయోజనాలు సాధారణ ప్రక్రియ, పొరల మధ్య మంచి ఏకరూపత మరియు ఒకే సమయంలో బహుళ పొరలను ప్రాసెస్ చేయగల సామర్థ్యం. ప్రతికూలతలు నెమ్మదిగా వేడెక్కడం వేగం, పెద్ద పరికరాల పరిమాణం, ఆటోమేషన్‌లో ఇబ్బంది మరియు పొరలను లోడ్ చేసేటప్పుడు మరియు అన్‌లోడ్ చేసేటప్పుడు బాహ్య గాలిని సులభంగా ప్రవేశించడం.

(2) నిలువు కొలిమి యొక్క అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ వేఫర్ బోట్ నిలువుగా ఉంచబడుతుంది, కాబట్టి దీనిని నిలువు కొలిమి అంటారు.

పొర క్వార్ట్జ్ టవర్‌పై లోడ్ చేయబడుతుంది మరియు నెమ్మదిగా తాపన కోసం క్వార్ట్జ్ కొలిమి గొట్టానికి పెరుగుతుంది. తాపన ప్రక్రియలో, అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ పొర పడవ నెమ్మదిగా తిరుగుతుంది, పొర సమానంగా వేడి చేయబడిందని నిర్ధారించుకోండి. ప్రాసెసింగ్ తరువాత, క్వార్ట్జ్ టవర్ నెమ్మదిగా ఉష్ణోగ్రత మార్పులను నివారించడానికి దిగుతుంది, అది పొర నష్టం కలిగిస్తుంది. నిలువు కొలిమిలను ప్రధానంగా 200 మిమీ మరియు 300 మిమీ వ్యాసం గల పొరల ఇంటిగ్రేటెడ్ సర్క్యూట్ ప్రక్రియలో ఉపయోగిస్తారు. నిలువు కొలిమిల యొక్క ప్రధాన సాంకేతికత అధిక-ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత క్షేత్ర నియంత్రణ, కణ నియంత్రణ, సూక్ష్మ పర్యావరణ సూక్ష్మ-ఆక్సిజన్ నియంత్రణ మరియు మోటరైజేషన్. నిలువు కొలిమిల యొక్క ప్రయోజనాలు సన్నని సహజ ఆక్సైడ్ పొర, మంచి ఏకరూపత, సులభంగా ఆటోమేషన్, చిన్న పరికరాల పాదముద్ర మరియు బ్యాచ్ ప్రాసెసింగ్. ప్రతికూలత ఏమిటంటే తాపన వేగం నెమ్మదిగా ఉంటుంది.

ఫోటోవోల్టాయిక్ క్షేత్రంలో, ఫోటోవోల్టాయిక్ కణాల ఉత్పత్తి ప్రక్రియకు క్వార్ట్జ్ పడవలు అధిక-ఉష్ణోగ్రత వ్యాప్తి ప్రక్రియలో సిలికాన్ పొరలను తీసుకెళ్లడానికి మరియు రవాణా చేయడానికి అవసరం. అధిక-స్వచ్ఛత నత్రజని, ఆక్సిజన్ లేదా ఇతర జడ వాయువు వాతావరణంలో అధిక-ఉష్ణోగ్రత చికిత్స, భాస్వరం వ్యాప్తి లేదా బోరాన్ వ్యాప్తి వంటివి, సౌర ఘటాల తయారీ ప్రక్రియలో ఒక ముఖ్యమైన దశ. సిలికాన్ పొరపై పిఎన్ జంక్షన్ ఏర్పడటం దీని ఉద్దేశ్యం.

అధిక-ఉష్ణోగ్రత వ్యాప్తి ప్రక్రియలో సిలికాన్ పొర ఖచ్చితమైన స్థానాన్ని నిర్వహించేలా మరియు సమానంగా వేడి చేయబడేలా క్వార్ట్జ్ బోట్ లోపల స్లాట్‌లను ఖచ్చితంగా రూపొందించింది. క్వార్ట్జ్ పదార్థం మంచి అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉన్నందున, ఇది సిలికాన్ పొరను కలుషితం చేయదు, ఇది ఉత్పత్తి వాతావరణం యొక్క అధిక పరిశుభ్రతను నిర్వహించడానికి అనుకూలంగా ఉంటుంది.

మీరు సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమలో లేదా ఫోటోవోల్టాయిక్ పరిశ్రమలో నిమగ్నమై ఉన్నా, మీకు హై ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ వేఫర్ బోట్ అవసరమైనంత వరకు, దయచేసి కోట్ కోసం మమ్మల్ని అడగండి మరియు మేము టైలర్ చేయగలము. మీ అవసరాలకు అనుగుణంగా మీ కోసం.

VeTek సెమీకండక్టర్ ఉత్పత్తుల షాపులు: