హై-ప్యూరిటీ CVD SiC కోటెడ్ వేఫర్ బోట్

1. ప్రధాన పనితీరు కారకాలు?

• 7N స్థాయిలో స్వచ్ఛత:మేము 99.99999% (7N) స్వచ్ఛత ప్రమాణాన్ని నిర్వహిస్తాము. లాంగ్ డ్రైవ్-ఇన్ లేదా ఆక్సీకరణ దశల సమయంలో లోహ కలుషితాలు పొరలోకి మారకుండా నిరోధించడానికి ఇది చర్చించబడదు.
• CVD సీల్ (50–300μm):మేము ఉపరితలాన్ని "పెయింట్" చేయము. మా 50–300μm CVD SiC పొర ఉపరితలంపై మొత్తం ముద్రను సృష్టిస్తుంది. ఇది సచ్ఛిద్రతను తొలగిస్తుంది, అనగా రియాక్టివ్ వాయువులు లేదా ఉగ్రమైన SPM/DHF క్లీనింగ్‌కు పదేపదే బహిర్గతం అయిన తర్వాత కూడా పడవ రసాయనాలను ట్రాప్ చేయదు లేదా కణాలను పోగొట్టదు.
• థర్మల్ దృఢత్వం:సిలికాన్ కార్బైడ్ యొక్క సహజమైన తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ ఈ పడవలను నేరుగా ఉంచుతుంది. రాపిడ్ థర్మల్ ఎనియలింగ్ (RTA) సమయంలో అవి కుంగిపోవు లేదా మెలితిప్పవు, రోబోట్ చేయి ఎల్లప్పుడూ జామింగ్ లేకుండా సరైన స్లాట్‌ను తాకినట్లు నిర్ధారిస్తుంది.
• స్థిరమైన దిగుబడి:ఉపరితలం తక్కువ ఉప ఉత్పత్తి సంశ్లేషణ కోసం రూపొందించబడింది. తక్కువ బిల్డప్ అంటే మీ పొరలను తక్కువ కణాలు తాకడం మరియు వెట్-బెంచ్ క్లీనింగ్ సైకిల్స్ మధ్య ఎక్కువ పరుగులు చేయడం.
• అనుకూల జ్యామితి:ప్రతి ఫ్యాబ్‌కు దాని స్వంత సెటప్ ఉంటుంది. మీరు క్షితిజ సమాంతర కొలిమిని నడుపుతున్నా లేదా నిలువుగా ఉండే 300mm ఆటోమేటెడ్ లైన్‌ని నడుపుతున్నా, మేము వీటిని మీ నిర్దిష్ట పిచ్ మరియు స్లాట్ డ్రాయింగ్‌లకు మెషిన్ చేస్తాము.

2. ప్రక్రియ అనుకూలత

• వాతావరణం:TMGa, AsH₃ మరియు అధిక-ఏకాగ్రత O₂ పరిసరాలకు నిరోధకత.
• ఉష్ణ పరిధి:1400 ° C వరకు స్థిరమైన దీర్ఘకాలిక ఆపరేషన్.
• మెటీరియల్స్:లాజిక్, పవర్ మరియు అనలాగ్ పొరల యొక్క ఆక్సీకరణ మరియు వ్యాప్తి ప్రక్రియల కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది.