ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
CVD SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ పార్ట్స్ క్లీనింగ్ సర్వీస్
  • CVD SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ పార్ట్స్ క్లీనింగ్ సర్వీస్CVD SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ పార్ట్స్ క్లీనింగ్ సర్వీస్

CVD SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ పార్ట్స్ క్లీనింగ్ సర్వీస్

CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ విడిభాగాల కోసం VETEK ప్రొఫెషనల్ క్లీనింగ్ సర్వీస్ అనేది Aixtron / Veeco MOCVD పరికరాల ససెప్టర్లు మరియు GaN / AlN / AlGaN ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగించే గ్రాఫైట్ భాగాల కోసం రూపొందించబడిన ప్రత్యేక సాంకేతిక సేవ. మా యాజమాన్య శుభ్రపరిచే ప్రక్రియ ఉపరితల మెమరీ ప్రభావాన్ని పూర్తిగా తొలగిస్తుంది, రియాక్టర్‌లో స్థిరమైన గ్యాస్ ప్రవాహాన్ని పునరుద్ధరిస్తుంది మరియు సంపూర్ణ సున్నా మందం నష్టం మరియు సున్నా మెటల్ అవశేషాలతో 100 µm CVD SiC పూతను ఖచ్చితంగా రక్షిస్తుంది.

1. మీరు ఎదుర్కొనే సవాళ్లు

• AlN పొరను తీసివేయడం కష్టం:1300°C థర్మల్ క్లీన్ ఇప్పటికీ అవశేష AlN పొరను సమర్థవంతంగా చెక్కదు.

• పునరావృత మెమరీ ప్రభావం:ఉపరితల మెమరీ ప్రభావం రియాక్టర్‌లో అస్థిర వాయువు ప్రవాహాన్ని కలిగిస్తుంది, ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది.

• క్లీనింగ్ సైకిల్ ఇంపాక్ts థ్రూపుట్:సాధారణంగా ప్రతి 16 ప్రక్రియ చక్రాలకు (4–5 ససెప్టర్లు) బాహ్య శుభ్రత అవసరం.

• నష్టపరిచే ఖరీదైన పూత గురించి ఆందోళన:ఇంట్లో కెమికల్ క్లీనింగ్ అనుభవం లేకపోవడం వల్ల ఆపరేటర్లు దూకుడుగా శుభ్రపరిచే ప్రయత్నం చేయడానికి వెనుకాడతారు.

2. మా పరిష్కారం - GaN / AlN / AlGaN ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడింది

• ప్రొఫెషనల్ క్లీనింగ్:CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ భాగాల కోసం కస్టమ్ ప్రక్రియ ప్రత్యేకంగా అభివృద్ధి చేయబడింది. కస్టమర్ నుండి రసాయన సూత్రం అవసరం లేదు.

• పూత భద్రత:100 µm CVD SiC పూతను ఖచ్చితంగా రక్షిస్తుంది. శుభ్రపరిచిన తర్వాత సంపూర్ణ సున్నా మందం నష్టం.

• ధృవీకరించదగిన ఫలితాలు:పూర్తి సర్టిఫికేట్ ఆఫ్ ఎనాలిసిస్ (COA) ఐదు కోర్ డైమెన్షన్‌లను కవర్ చేస్తుంది. ఆర్కైవ్ మరియు నాణ్యత ఆడిట్ కోసం డేటా సిద్ధంగా ఉంది.

3. ఐదు ప్రధాన అంగీకార ప్రమాణాలు

సెమీకండక్టర్ ఎపిటాక్సీ వినియోగదారుల యొక్క క్లిష్టమైన అవసరాలతో ఖచ్చితంగా సమలేఖనం చేయబడింది:

1. జీరో పూత నష్టం- శుభ్రపరిచిన తర్వాత SiC పూత మందం ఎప్పటికీ తగ్గదు (ముందు/పోస్ట్ మందం పోలిక ధృవీకరణ).

2. ఉపరితల వైకల్యం లేదు- భౌతిక వైకల్యం లేకుండా నిర్ధారించడానికి ఫ్లాట్‌నెస్ మరియు రేఖాగణిత ఖచ్చితత్వం ఖచ్చితంగా తనిఖీ చేయబడతాయి.

3. మెమరీ ప్రభావాన్ని తొలగించండి– Al/Ga అవశేషాల కోసం XPS విశ్లేషణ మెమరీ ఎఫెక్ట్ సోర్స్‌లను పూర్తిగా తొలగించడాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

4. జీరో మెటల్ అవశేషాలు– Fe, Cu, Ni మరియు ఇతర లోహాల కోసం ICP-MS పరీక్ష సున్నా అవశేష లోహ మలినాలను ధృవీకరిస్తుంది.

5. ఎక్సెస్ పార్టికల్స్ లేవు– QIII కణ పరీక్ష మరియు శుభ్రత ధృవీకరణ అవశేష కణాల వల్ల గ్యాస్ ప్రవాహ అస్థిరతను నివారిస్తుంది.

4. డెలివరీ తనిఖీ & COA నివేదిక

ప్రతి బ్యాచ్ ఐదు ప్రధాన పరిమాణాలలో పూర్తి ధృవీకరణ డేటాతో పంపిణీ చేయబడుతుంది:

తనిఖీ అంశం
ధృవీకరణ పద్ధతి & ప్రయోజనం
పార్టికల్స్ & పరిశుభ్రత
QIII కణ పరీక్ష + శుభ్రత ధృవీకరణ - అదనపు కణాలు లేకుండా చూసుకోండి
జీరో SiC పూత నష్టం
ముందు/పోస్ట్ మందం పోలిక - CVD SiC పూత యొక్క సంపూర్ణ తగ్గింపు లేదని నిర్ధారించండి
అల్ / గా అవశేషాలు
XPS ధృవీకరణ - మెమరీ ప్రభావం పూర్తిగా తొలగించబడిందని నిర్ధారించండి
మెటల్ మలినాలను
Fe / Cu / Ni మొదలైన వాటి కోసం ICP-MS – సున్నా అవశేష లోహాలు
ఫ్లాట్‌నెస్ / డిఫార్మేషన్
రేఖాగణిత ఖచ్చితత్వ తనిఖీ - భౌతిక వైకల్యానికి హామీ ఇవ్వదు

5. వర్తించే ఉత్పత్తులు & ప్రక్రియ నేపథ్యం

ఉత్పత్తి పారామితులు

అంశం
స్పెసిఫికేషన్
సేవా రకం
Aixtron / Veeco CVD SiC కోటింగ్ గ్రాఫైట్ భాగాలు
పరిమాణం
6 అంగుళాలు / 8 అంగుళాలు మరియు ఇతర అనుకూల పరిమాణాలు
సబ్‌స్ట్రేట్ & పూత
గ్రాఫైట్ బేస్ + 100 µm CVD SiC పూత
గ్రోత్ మెటీరియల్స్
GaN / AlN / AlGaN (సాధారణం: AlN ≈ 100 nm, GaN ≈ 2 µm ప్రతి పెరుగుదల)

సేవా ప్రక్రియ

1. విచారణ- మూల్యాంకనం కోసం పార్ట్ ఫోటోలు / మోడల్ / పరిమాణాన్ని పంపండి.

2. కొటేషన్- కొటేషన్‌తో సాంకేతిక మూల్యాంకనం మరియు వివరణాత్మక శుభ్రపరిచే ప్రతిపాదన.

3. షిప్పింగ్- మాకు భాగాలను రవాణా చేయండి లేదా పికప్ సేవను ఏర్పాటు చేయండి.

4. శుభ్రపరచడం– ప్రొఫెషనల్ క్లీనింగ్ + పూర్తి బహుళ డైమెన్షన్ తనిఖీ.

5. నివేదిక– COA నివేదిక జారీ చేయబడింది మరియు శుభ్రం చేయబడిన భాగాలు తిరిగి వచ్చాయి.

6. ఫాలో-అప్- ఎఫెక్ట్ ట్రాకింగ్ మరియు కొనసాగుతున్న సాంకేతిక మద్దతు.

6. VETEK క్లీనింగ్ సర్వీస్‌ను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

VETEK అధిక-విలువైన గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ల కోసం ప్రత్యేకమైన శుభ్రపరిచే సామర్థ్యాలతో CVD SiC కోటింగ్ టెక్నాలజీలో లోతైన నైపుణ్యాన్ని మిళితం చేస్తుంది. GaN/AlN ఎపిటాక్సీలో పూత సమగ్రత, కణ నియంత్రణ మరియు ప్రక్రియ స్వచ్ఛత యొక్క క్లిష్టమైన ప్రాముఖ్యతను మేము అర్థం చేసుకున్నాము. మెమరీ ప్రభావం మరియు గ్యాస్-ఫ్లో అస్థిరత సమస్యలను పూర్తిగా పరిష్కరించేటప్పుడు ఖరీదైన CVD SiC కోటింగ్‌ల కోసం సంపూర్ణ భద్రత అవసరమయ్యే కస్టమర్‌ల కోసం మా సేవ రూపొందించబడింది.

చిన్న-బ్యాచ్ ధృవీకరణ కోసం ట్రయల్ క్లీనింగ్ అందుబాటులో ఉంది

· ప్రతి డెలివరీతో పూర్తి COA నివేదిక అందించబడుతుంది

పూత నష్టం లేదా కొత్త కాలుష్యం యొక్క సున్నా ప్రమాదం

· వృత్తిపరమైనది · సురక్షితమైనది · ధృవీకరించదగినది

హాట్ ట్యాగ్‌లు: CVD SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ క్లీనింగ్, SiC కోటింగ్ క్లీనింగ్ సర్వీస్, మెమరీ ప్రభావం తొలగింపు, Aixtron ససెప్టర్ క్లీనింగ్, వీకో గ్రాఫైట్ భాగాలు శుభ్రపరచడం, GaN AlN AlGaN శుభ్రపరచడం, సున్నా పూత నష్టం శుభ్రపరచడం, ప్రొఫెషనల్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ క్లీనింగ్, CVD SiC శుభ్రపరిచే సేవ, VETEK సాంకేతిక సేవ
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇ-మెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
వార్తల సిఫార్సులు
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు.గోప్యతా విధానం