ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
పెద్ద సైజు రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్
  • పెద్ద సైజు రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్పెద్ద సైజు రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్

పెద్ద సైజు రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్

సిలికాన్ కార్బైడ్ క్రిస్టల్ పెరుగుదల అనేది అధిక-పనితీరు గల సెమీకండక్టర్ పరికరాల తయారీలో ఒక ప్రధాన ప్రక్రియ. క్రిస్టల్ గ్రోత్ పరికరాల స్థిరత్వం, ఖచ్చితత్వం మరియు అనుకూలత నేరుగా సిలికాన్ కార్బైడ్ కడ్డీల నాణ్యత మరియు దిగుబడిని నిర్ణయిస్తాయి. ఫిజికల్ వేపర్ ట్రాన్స్‌పోర్ట్ (PVT) సాంకేతికత యొక్క లక్షణాల ఆధారంగా, Veteksemi సిలికాన్ కార్బైడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ కోసం రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ ఫర్నేస్‌ను అభివృద్ధి చేసింది, ఇది 6-అంగుళాల, 8-అంగుళాల మరియు 12-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాల స్థిరమైన వృద్ధిని అనుమతిస్తుంది. ఉష్ణోగ్రత, పీడనం మరియు శక్తి యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ ద్వారా, ఇది EPD (Etch పిట్ డెన్సిటీ) మరియు BPD (బేసల్ ప్లేన్ డిస్‌లోకేషన్) వంటి స్ఫటిక లోపాలను సమర్థవంతంగా తగ్గిస్తుంది, అదే సమయంలో తక్కువ శక్తి వినియోగం మరియు పారిశ్రామిక పెద్ద-స్థాయి ఉత్పత్తి యొక్క అధిక ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా కాంపాక్ట్ డిజైన్‌ను కలిగి ఉంటుంది.

సాంకేతిక పారామితులు

పరామితి
స్పెసిఫికేషన్
వృద్ధి ప్రక్రియ
భౌతిక ఆవిరి రవాణా (PVT)
తాపన పద్ధతి
గ్రాఫైట్ రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్
అనుకూల క్రిస్టల్ పరిమాణాలు
6 అంగుళాలు, 8 అంగుళాలు, 12 అంగుళాలు (మార్చదగినవి; ఛాంబర్ భర్తీ సమయం < 4 గంటలు)
అనుకూలమైన క్రిస్టల్ రకాలు
వాహక రకం, సెమీ-ఇన్సులేటింగ్ రకం, N-రకం (పూర్తి సిరీస్)
గరిష్ట ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత
≥2400℃
అల్టిమేట్ వాక్యూమ్
≤9×10⁻⁵Pa (చల్లని కొలిమి పరిస్థితి)
ఒత్తిడి పెరుగుదల రేటు
≤1.0Pa/12h (చల్లని కొలిమి)
క్రిస్టల్ గ్రోత్ పవర్
34.0KW
పవర్ కంట్రోల్ ఖచ్చితత్వం
± 0.15% (స్థిరమైన వృద్ధి పరిస్థితులలో)
ఒత్తిడి నియంత్రణ ఖచ్చితత్వం
0.15Pa (వృద్ధి దశ); హెచ్చుతగ్గులు <±0.001 Torr (1.0Torr వద్ద)
క్రిస్టల్ డిఫెక్ట్ డెన్సిటీ
BPD <381 ea/cm²; TED <1054 ea/cm²
క్రిస్టల్ గ్రోత్ రేట్
0.2-0.3mm/h
క్రిస్టల్ గ్రోత్ హైట్
30-40మి.మీ
మొత్తం కొలతలు (W×D×H)
≤1800mm×3300mm×2700mm


కోర్ ప్రయోజనాలు


 పూర్తి-పరిమాణ అనుకూలత

6-అంగుళాల, 8-అంగుళాల మరియు 12-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ స్ఫటికాల స్థిరమైన వృద్ధిని ప్రారంభిస్తుంది, వాహక, సెమీ-ఇన్సులేటింగ్ మరియు N-రకం మెటీరియల్ సిస్టమ్‌లకు పూర్తిగా అనుకూలంగా ఉంటుంది. ఇది విభిన్న స్పెసిఫికేషన్‌లతో ఉత్పత్తుల ఉత్పత్తి అవసరాలను కవర్ చేస్తుంది మరియు విభిన్న అప్లికేషన్ దృశ్యాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది.


● బలమైన ప్రక్రియ స్థిరత్వం

8-అంగుళాల స్ఫటికాలు అద్భుతమైన 4H పాలిటైప్ అనుగుణ్యత, స్థిరమైన ఉపరితల ఆకృతి మరియు అధిక పునరావృతతను కలిగి ఉంటాయి; 12-అంగుళాల సిలికాన్ కార్బైడ్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ టెక్నాలజీ అధిక భారీ ఉత్పత్తి సాధ్యతతో ధృవీకరణను పూర్తి చేసింది.


● తక్కువ క్రిస్టల్ లోపం రేటు

ఉష్ణోగ్రత, పీడనం మరియు శక్తి యొక్క ఖచ్చితమైన నియంత్రణ ద్వారా, స్ఫటిక లోపాలు ప్రభావవంతంగా తగ్గించబడతాయి - EPD=1435 ea/cm², BPD=381 ea/cm², TSD=0 ea/cm², మరియు TED=1054 ea/cm². అన్ని లోపం సూచికలు హై-గ్రేడ్ క్రిస్టల్ నాణ్యత అవసరాలను తీరుస్తాయి, కడ్డీ దిగుబడిని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తాయి.


● నియంత్రించదగిన నిర్వహణ ఖర్చులు

సారూప్య ఉత్పత్తులలో ఇది అతి తక్కువ శక్తి వినియోగాన్ని కలిగి ఉంది. కోర్ భాగాలు (థర్మల్ ఇన్సులేషన్ షీల్డ్స్ వంటివి) 6-12 నెలల సుదీర్ఘ రీప్లేస్‌మెంట్ సైకిల్‌ను కలిగి ఉంటాయి, సమగ్ర నిర్వహణ ఖర్చులను తగ్గిస్తాయి.


● ప్లగ్-అండ్-ప్లే సౌలభ్యం

పరికరాల లక్షణాల ఆధారంగా అనుకూలీకరించిన రెసిపీ మరియు ప్రక్రియ ప్యాకేజీలు, దీర్ఘ-కాల మరియు బహుళ-బ్యాచ్ ఉత్పత్తి ద్వారా ధృవీకరించబడతాయి, ఇన్‌స్టాలేషన్ తర్వాత తక్షణ ఉత్పత్తిని అనుమతిస్తుంది.


● భద్రత మరియు విశ్వసనీయత

సంభావ్య భద్రతా ప్రమాదాలను తొలగించడానికి ప్రత్యేక యాంటీ-ఆర్క్ స్పార్క్ డిజైన్‌ను స్వీకరిస్తుంది; నిజ-సమయ పర్యవేక్షణ మరియు ముందస్తు హెచ్చరిక విధులు ముందస్తుగా కార్యాచరణ ప్రమాదాలను నివారిస్తాయి.


● అద్భుతమైన వాక్యూమ్ పనితీరు

అంతిమ శూన్యత మరియు ఒత్తిడి పెరుగుదల రేటు సూచికలు అంతర్జాతీయంగా ప్రముఖ స్థాయిలను అధిగమించాయి, క్రిస్టల్ పెరుగుదలకు స్వచ్ఛమైన వాతావరణాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.


● ఇంటెలిజెంట్ ఆపరేషన్ మరియు మెయింటెనెన్స్

సమర్థవంతమైన మరియు అనుకూలమైన ఉత్పత్తి నిర్వహణ కోసం ఐచ్ఛిక రిమోట్ మానిటరింగ్ ఫంక్షన్‌లకు మద్దతునిస్తూ సమగ్ర డేటా రికార్డింగ్‌తో కలిపి ఒక సహజమైన HMI ఇంటర్‌ఫేస్‌ను ఫీచర్ చేస్తుంది.


కోర్ పనితీరు యొక్క విజువల్ డిస్ప్లే


ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ ఖచ్చితత్వం వక్రత

Temperature Control Accuracy Curve

క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్ ≤ ± 0.3°C యొక్క ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ ఖచ్చితత్వం; ఉష్ణోగ్రత వక్రరేఖ యొక్క అవలోకనం



ఒత్తిడి నియంత్రణ ఖచ్చితత్వం గ్రాఫ్


Pressure Control Accuracy Graph

క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్ యొక్క ప్రెజర్ కంట్రోల్ ఖచ్చితత్వం: 1.0 టోర్, ప్రెజర్ కంట్రోల్ ఖచ్చితత్వం: 0.001 టోర్


పవర్ స్టెబిలిటీ ప్రెసిషన్


ఫర్నేసులు/బ్యాచ్‌ల మధ్య స్థిరత్వం మరియు స్థిరత్వం: శక్తి యొక్క స్థిరత్వ ఖచ్చితత్వం

Power Stability Precision

క్రిస్టల్ గ్రోత్ స్టేటస్ కింద, స్థిరమైన క్రిస్టల్ పెరుగుదల సమయంలో పవర్ కంట్రోల్ యొక్క ఖచ్చితత్వం ±0.15%.


Veteksemicon ఉత్పత్తుల దుకాణం

Veteksemicon products shop



హాట్ ట్యాగ్‌లు: పెద్ద సైజు రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇ-మెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
వార్తల సిఫార్సులు
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు.గోప్యతా విధానం