AMAT కవర్ టాప్ క్వార్ట్జ్ 8 అంగుళాల PCII

AMAT కవర్ టాప్ క్వార్ట్జ్ 8 అంగుళాల PCII (పార్ట్ నం. 0200-00218) అనేది 200mm (8-అంగుళాల) PVD ప్రాసెస్ ఛాంబర్‌లలో ఉపయోగించడం కోసం రూపొందించబడిన అధిక-స్వచ్ఛత కలిగిన క్వార్ట్జ్ భాగం, ప్రత్యేకంగా అప్లైడ్ మెటీరియల్స్ ఎండ్యూరా® ప్లాట్‌ఫారమ్ (PCII చాంబర్)కు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

అల్ట్రా-హై ప్యూరిటీ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ నుండి తయారు చేయబడిన ఈ భాగం కాలుష్యాన్ని తగ్గించడం మరియు స్థిరమైన ప్లాస్మా ప్రవర్తనను నిర్ధారించడం ద్వారా శుభ్రమైన మరియు స్థిరమైన నిక్షేపణ వాతావరణాన్ని నిర్వహించడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది.

Vetek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము ఖచ్చితమైన మెటీరియల్ నియంత్రణ మరియు డైమెన్షనల్ ఖచ్చితత్వంతో ఖచ్చితమైన-ఇంజనీరింగ్ క్వార్ట్జ్ భాగాలను అందిస్తాము, సెమీకండక్టర్ ఫ్యాబ్‌లు మరియు ఎక్విప్‌మెంట్ సర్వీస్ ప్రొవైడర్‌ల కోసం నమ్మదగిన ప్రత్యామ్నాయాలను అందిస్తాము.

ముఖ్య లక్షణాలు:

ప్రాసెస్ అప్లికేషన్ & ఛాంబర్ స్థానం

ఈ క్వార్ట్జ్ కవర్ ప్రత్యేకంగా PVD స్పుట్టరింగ్ ప్రక్రియల కోసం రూపొందించబడింది, అల్యూమినియం (Al), టైటానియం (Ti) మరియు కాపర్ (Cu) వంటి మెటల్ సన్నని ఫిల్మ్ డిపాజిషన్ కోసం సెమీకండక్టర్ తయారీలో విస్తృతంగా ఉపయోగించబడుతుంది.

ఛాంబర్ స్థానం

ఈ భాగం PVD చాంబర్ యొక్క ఎగువ విభాగంలో ఇన్‌స్టాల్ చేయబడింది, దీనిని సాధారణంగా టాప్ కవర్ రీజియన్‌గా సూచిస్తారు, ఇక్కడ ఇది బహిర్గతమవుతుంది:

● ప్లాస్మా ఉత్సర్గ మండలాలు

● గ్యాస్ ప్రవాహ మార్గాలను ప్రాసెస్ చేయండి

● మెటల్ పార్టికల్ డిపాజిషన్ పరిసరాలు

ఛాంబర్‌లో క్రియాత్మక పాత్ర

ఛాంబర్ నిర్మాణంలో, కవర్ టాప్ క్వార్ట్జ్ నాన్-మెటాలిక్ ప్రొటెక్టివ్ బారియర్ మరియు ఇన్సులేటింగ్ ఎలిమెంట్‌గా పనిచేస్తుంది, ఇది పొర పైన మరియు లక్ష్య ప్రాంతానికి సమీపంలో ఉంటుంది.

దీని ప్లేస్‌మెంట్ కీలకం:

● మెటల్ నిక్షేపణ నుండి సున్నితమైన చాంబర్ భాగాలను రక్షిస్తుంది

● RF ప్లాస్మా పరిసరాలలో విద్యుత్ ఇన్సులేషన్‌ను నిర్వహించడం

● స్థిరమైన మరియు పునరావృత ప్రక్రియ పరిస్థితులకు మద్దతు ఇస్తుంది

కోర్ విధులు & పనితీరు ప్రయోజనాలు

1) కాలుష్య నియంత్రణ

PVD ప్రక్రియల సమయంలో, స్పుటర్డ్ మెటల్ అణువులు పొరలపై మాత్రమే కాకుండా అంతర్గత గది ఉపరితలాలపై కూడా జమ చేస్తాయి.

ఈ క్వార్ట్జ్ కవర్:

● త్యాగం చేసే రక్షణ పొరగా పనిచేస్తుంది

● క్లిష్టమైన చాంబర్ నిర్మాణాలపై లోహ నిర్మాణాన్ని నిరోధిస్తుంది

● కణ ఉత్పత్తి మరియు క్రాస్-కాలుష్యాన్ని తగ్గిస్తుంది

ఫలితం: మెరుగైన పొర దిగుబడి మరియు ప్రక్రియ శుభ్రత

2) ప్లాస్మా స్థిరత్వం & ఎలక్ట్రికల్ ఇన్సులేషన్

దాని అద్భుతమైన విద్యుద్వాహక లక్షణాలకు ధన్యవాదాలు, అధిక స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ నిర్ధారిస్తుంది:

● స్థిరమైన RF ఫీల్డ్ పంపిణీ

● విద్యుత్ జోక్యం తగ్గిన ప్రమాదం

● ప్రక్రియ చక్రాల అంతటా స్థిరమైన ప్లాస్మా సాంద్రత

ఫలితం: మెరుగైన ఫిల్మ్ ఏకరూపత మరియు పునరావృతత

3) సుపీరియర్ మెటీరియల్ స్వచ్ఛత

Vetek సెమీకండక్టర్ మలినాన్ని తగ్గించడానికి అల్ట్రా-హై స్వచ్ఛత క్వార్ట్జ్ పదార్థాలను ఉపయోగిస్తుంది.

● తక్కువ లోహ కాలుష్యం

● వాక్యూమ్ పరిస్థితుల్లో కనీస అవుట్‌గ్యాసింగ్

● అధునాతన సెమీకండక్టర్ నోడ్‌లకు అనుకూలం

ఫలితం: కఠినమైన ఫ్యాబ్-స్థాయి శుభ్రత ప్రమాణాలకు అనుగుణంగా ఉంటుంది

4) అద్భుతమైన ప్లాస్మా & థర్మల్ రెసిస్టెన్స్

ఈ భాగం తట్టుకునేలా రూపొందించబడింది:

● ప్లాస్మా ఎరోషన్ మరియు అయాన్ బాంబర్డ్‌మెంట్

● పునరావృత థర్మల్ సైక్లింగ్

ఫలితం: సుదీర్ఘ సేవా జీవితం మరియు తగ్గిన నిర్వహణ ఫ్రీక్వెన్సీ

5) ఖర్చుతో కూడుకున్న వినియోగ డిజైన్

మార్చగల గది వినియోగించదగినదిగా, ఈ భాగం:

● ఖరీదైన ఛాంబర్ హార్డ్‌వేర్‌ను రక్షిస్తుంది

● నిర్వహణ చక్రాలను సులభతరం చేస్తుంది

● యాజమాన్యం యొక్క మొత్తం వ్యయాన్ని తగ్గిస్తుంది (TCO)

Vetek సెమీకండక్టర్‌ను ఎందుకు ఎంచుకోవాలి?

Vetek సెమీకండక్టర్ వద్ద, మేము అధిక-పనితీరు గల క్వార్ట్జ్ భాగాలను అందించడానికి సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియ అవగాహనతో మెటీరియల్ సైన్స్ నైపుణ్యాన్ని మిళితం చేస్తాము.

మా ప్రయోజనాలు:

● గట్టి టాలరెన్స్‌లతో కూడిన ఖచ్చితమైన మ్యాచింగ్

● కఠినమైన ముడి పదార్థాల ఎంపిక మరియు గుర్తించదగినది

● AMAT ఎండ్యూరా ప్లాట్‌ఫారమ్‌లతో నిరూపితమైన అనుకూలత

● గ్లోబల్ సెమీకండక్టర్ కస్టమర్లకు స్థిరమైన సరఫరా

● అనుకూలీకరణ మరియు ఆప్టిమైజేషన్ కోసం ఇంజనీరింగ్ మద్దతు