ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
TAC పూత విడి భాగం
  • TAC పూత విడి భాగంTAC పూత విడి భాగం

TAC పూత విడి భాగం

TAC పూత ప్రస్తుతం ప్రధానంగా సిలికాన్ కార్బైడ్ సింగిల్ క్రిస్టల్ గ్రోత్ (పివిటి పద్ధతి), ఎపిటాక్సియల్ డిస్క్ (సిలికాన్ కార్బైడ్ ఎపిటాక్సీ, ఎల్‌ఈడీ ఎపిటాక్సీతో సహా) వంటి ప్రక్రియలలో ఉపయోగించబడింది. టాక్ పూత ప్లేట్ యొక్క మంచి దీర్ఘకాలిక స్థిరత్వంతో కలిపి, వెటెక్సెమికన్ యొక్క టాక్ కోటింగ్ ప్లేట్ TAC కోటింగ్ స్పేర్ భాగాలకు బెంచ్ మార్క్. మీరు మా దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము ఎదురుచూస్తున్నాము.

ఇది సెమీకండక్టర్TAC పూత ప్లేట్విస్తృతంగా ఉపయోగించే ప్రత్యేక పదార్థంసెమీకండక్టర్తయారీ ప్రక్రియ. దాని అధిక కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు నిరోధకత, అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత, తక్కువ ఘర్షణ గుణకం మరియు మంచి ఉష్ణ వాహకతతో కలిపి, TAC పూత ప్లేట్ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ యొక్క అనేక లింక్‌లలో కోలుకోలేని పాత్ర పోషిస్తుంది.


సాధారణంగా, యొక్క అనువర్తనాలుTAC పూత పలకలుసెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఈ క్రింది విధంగా ఉన్నాయి:


● CVD/ALD వృద్ధి ఉపరితలం. ఇది సినిమా యొక్క ఏకరూపత మరియు సాంద్రతను నిర్ధారించడానికి స్థిరమైన వృద్ధి వాతావరణాన్ని అందిస్తుంది.

●  ఎచింగ్ మాస్క్ ప్లేట్.

●  CMP పాలిషింగ్ ప్యాడ్.

●  అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమి: TAC పూత పలకల యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకత అధిక ఉష్ణోగ్రత ఎనియలింగ్, వ్యాప్తి మరియు ఇతర ప్రక్రియల కోసం అధిక ఉష్ణోగ్రత కొలిమిలలో కొలిమి గొట్టాలుగా ఉపయోగించటానికి వీలు కల్పిస్తుంది.


CVD TAC పూత సాంకేతిక పారామితులు

సివిడి సిక్ పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు
ఆస్తి
సాధారణ విలువ
క్రిస్టల్ నిర్మాణం FCC β దశ పాలిక్రిస్టలైన్, ప్రధానంగా (111) ఆధారితమైనది
సివిడి కోటింగ్ సాంద్రత
3.21 గ్రా/సెం.మీ.
Sic పూత కాఠిన్యం
2500 విక్కర్స్ కాఠిన్యం (500 గ్రా లోడ్
ధాన్యం పరిమాణం
2 ~ 10 మిమీ
రసాయన స్వచ్ఛత
99.99995%
ఉష్ణ సామర్థ్యం
640 J · kg-1· కె-1
సబ్లిమేషన్ ఉష్ణోగ్రత
2700
ఫ్లెక్చురల్ బలం
415 MPa Rt 4-పాయింట్
యంగ్ మాడ్యులస్
430 GPA 4pt బెండ్, 1300 ℃
ఉష్ణ వాహకత
300W · M-1· కె-1
ఉష్ణ విస్తరణ (సిటిఇ)
4.5 × 10-6K-1

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ టాక్ కోటింగ్ స్పేర్ పార్ట్ ప్రొడక్ట్స్ షాపులు

TaC Coating spare part products shops

హాట్ ట్యాగ్‌లు: TAC పూత విడి భాగం
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇ-మెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు.గోప్యతా విధానం