ఉత్పత్తులు
ఉత్పత్తులు
TAC పూత రింగ్
  • TAC పూత రింగ్TAC పూత రింగ్

TAC పూత రింగ్

TaC కోటింగ్ రింగ్ అనేది సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో ఉపయోగం కోసం రూపొందించబడిన అధిక-పనితీరు గల భాగం, VeTek సెమీకండక్టర్ TaC కోటింగ్ రింగ్ అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం, రసాయన తుప్పుకు నిరోధకత మరియు అద్భుతమైన యాంత్రిక బలాన్ని కలిగి ఉంటుంది మరియు చెక్కే ప్రక్రియలో SiC పొరలను పట్టుకోవడానికి మరియు మద్దతు ఇవ్వడానికి ప్రత్యేకంగా ఉపయోగించబడుతుంది. అధిక-నాణ్యత పొరలను సాధించడానికి ఖచ్చితమైన నియంత్రణ మరియు మన్నిక అవసరం. మేము మీ తదుపరి సంప్రదింపుల కోసం ఎదురు చూస్తున్నాము.

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ యొక్క TAC పూత రింగ్ అధిక-నాణ్యత గ్రాఫైట్ నుండి రూపొందించబడింది మరియు టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (TAC) తో పూత పూయబడింది, దాని ఉన్నతమైన లక్షణాలకు ప్రసిద్ది చెందింది, ఇది సెమీకండక్టర్ పొర ప్రాసెసింగ్‌లో ఒక అనివార్యమైన భాగం.


VeTek సెమీకండక్టర్ TaC కోటింగ్ రింగ్ యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు మరియు ప్రయోజనాలు:


Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section

అధిక ఉష్ణ స్థిరత్వం: టాంటాలమ్ కార్బైడ్ కోటింగ్ రింగ్ యొక్క ప్రత్యేక లక్షణాలలో ఒకటి అధిక ఉష్ణోగ్రతలను తట్టుకోగల సామర్థ్యం, ​​ఇది సెమీకండక్టర్ ఎచింగ్‌లో కీలకమైన అంశం. SiC ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఎలివేటెడ్ ఉష్ణోగ్రతలు మరియు రియాక్టివ్ వాయువులు బహిర్గతం అవుతాయి మరియు టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత రింగ్ స్థిరంగా ఉండేలా చేస్తుంది మరియు ఈ కఠినమైన పరిస్థితులలో కూడా దాని నిర్మాణ సమగ్రతను నిలుపుకుంటుంది. ఈ ఉష్ణ స్థితిస్థాపకత, కాంపోనెంట్ ఎక్కువ కాలం పాటు సరైన పనితీరును కొనసాగించడాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.


●  మెకానికల్ బలం మెరుగుపరచబడింది: అధిక-బలం గల గ్రాఫైట్ మరియు TAC పూత కలయిక మెరుగైన యాంత్రిక లక్షణాలతో ఒక భాగానికి దారితీస్తుంది, TAC పూత రింగ్ ధరించడానికి మరియు కన్నీటికి అధిక నిరోధకతను కలిగిస్తుంది. SIC పొరలను గట్టిగా పట్టుకోవడంలో దీని యాంత్రిక బలం చాలా ముఖ్యమైనది, ఈ ప్రక్రియలో ఖచ్చితమైన చెక్కడం మరియు ఏదైనా వైకల్యాన్ని నిరోధించడం.


Cor కెమికల్ తుప్పు నిరోధకత: SiC ఎచింగ్ వంటి సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో, భాగాలు తరచుగా దూకుడు రసాయనాలు మరియు రియాక్టివ్ వాయువులకు గురవుతాయి. టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత తుప్పుకు వ్యతిరేకంగా అద్భుతమైన రక్షణను అందిస్తుంది, రింగ్ యొక్క ఉపయోగకరమైన జీవితాన్ని గణనీయంగా పొడిగిస్తుంది మరియు తరచుగా భర్తీ చేయవలసిన అవసరాన్ని తగ్గిస్తుంది. ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ఈ ప్రతిఘటన చాలా ముఖ్యమైనది, ఇక్కడ భాగాలు రసాయనికంగా రియాక్టివ్ పదార్థాలతో నిరంతరం సంబంధంలో ఉంటాయి.


మెరుగైన పనితీరు కోసం సుపీరియర్ కోటిటాక్ కోటింగ్స్ంగ్: గ్రాఫైట్ రింగ్‌లోని టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత ఒక బలమైన ఉపరితలాన్ని అందిస్తుంది, ఇది భాగం యొక్క మొత్తం పనితీరును పెంచుతుంది. టాంటాలమ్ కార్బైడ్ దాని అధిక ద్రవీభవన స్థానం (సుమారు 3,880 ° C) మరియు రసాయన ప్రతిచర్యలకు దాని అద్భుతమైన ప్రతిఘటనకు ప్రసిద్ధి చెందింది, ముఖ్యంగా సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియల సమయంలో సాధారణంగా ఎదుర్కొనే దూకుడు వాతావరణంలో. ఈ టాంటాలమ్ కార్బైడ్ పూత ఉత్పత్తి యొక్క ఆయుష్షును గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది, అన్‌కోటెడ్ గ్రాఫైట్ రింగులతో పోలిస్తే ఉన్నతమైన మన్నికను అందిస్తుంది.


●  మెకానికల్ బలం మెరుగుపరచబడింది: అధిక-బలం గల గ్రాఫైట్ మరియు TAC పూత కలయిక మెరుగైన యాంత్రిక లక్షణాలతో ఒక భాగానికి దారితీస్తుంది, TAC పూత రింగ్ ధరించడానికి మరియు కన్నీటికి అధిక నిరోధకతను కలిగిస్తుంది. SIC పొరలను గట్టిగా పట్టుకోవడంలో దీని యాంత్రిక బలం చాలా ముఖ్యమైనది, ఈ ప్రక్రియలో ఖచ్చితమైన చెక్కడం మరియు ఏదైనా వైకల్యాన్ని నిరోధించడం.


చైనాలో ప్రముఖ TaC కోటింగ్ రింగ్ సరఫరాదారుగా, తయారీదారుగా మరియు ఫ్యాక్టరీగా, VeTek సెమీకండక్టర్ సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ పరిశ్రమ కోసం అధునాతన TaC కోటింగ్ రింగ్ ఉత్పత్తులు మరియు సాంకేతిక పరిష్కారాలను అందించడానికి చాలా కాలంగా కట్టుబడి ఉంది మరియు అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తి సేవలకు మద్దతు ఇస్తుంది. VeTekSemi చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావడానికి హృదయపూర్వకంగా ఎదురుచూస్తోంది.


TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు

TaC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు
TaC పూత సాంద్రత
14.3 (g/cm³)
నిర్దిష్ట ఉద్గారత
0.3
ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం
6.3*10-6/కె
TaC పూత కాఠిన్యం (HK)
2000 హెచ్‌కె
ప్రతిఘటన
1 × 10-5ఓం*సెం.మీ.
ఉష్ణ స్థిరత్వం
<2500
గ్రాఫైట్ పరిమాణం మార్పులు
-10 ~ -20UM
పూత మందం
≥20um సాధారణ విలువ (35um±10um)

వెటెక్ సెమీకండక్టర్ యొక్క TAC పూత రింగ్ ఉత్పత్తి షాపులు

SiC Coating Graphite substrateTaC Coating Ring testSilicon carbide ceramic processingSemiconductor process equipment


హాట్ ట్యాగ్‌లు: TaC కోటింగ్ రింగ్
విచారణ పంపండి
సంప్రదింపు సమాచారం
  • చిరునామా

    వాంగ్డా రోడ్, జియాంగ్ స్ట్రీట్, వుయి కౌంటీ, జిన్హువా సిటీ, జెజియాంగ్ ప్రావిన్స్, చైనా

  • ఇ-మెయిల్

    anny@veteksemi.com

For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
మీకు మెరుగైన బ్రౌజింగ్ అనుభవాన్ని అందించడానికి, సైట్ ట్రాఫిక్‌ను విశ్లేషించడానికి మరియు కంటెంట్‌ను వ్యక్తిగతీకరించడానికి మేము కుక్కీలను ఉపయోగిస్తాము. ఈ సైట్‌ని ఉపయోగించడం ద్వారా, మీరు మా కుక్కీల వినియోగానికి అంగీకరిస్తున్నారు.గోప్యతా విధానం
తిరస్కరించుఅంగీకరించు