Coపిరితిత్తుల పూత

ఇది సెమీకండక్టర్Coపిరితిత్తుల పూతఅణు పొర నిక్షేపణలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది (ఆల్డ్) ప్రక్రియ. దీని ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ, ఏకరీతి వాయువు పంపిణీ, అధిక రసాయన నిరోధకత మరియు అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత చలనచిత్ర నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క ఏకరూపత మరియు అధిక నాణ్యతను నిర్ధారిస్తాయి. మీరు మరింత తెలుసుకోవాలనుకుంటే, మీరు వెంటనే మమ్మల్ని సంప్రదించవచ్చు మరియు మేము మీకు సమయానికి ప్రత్యుత్తరం ఇస్తాము!

ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ:

SIC పూత ALD ససెప్టర్ సాధారణంగా అధిక-ఖచ్చితమైన ఉష్ణోగ్రత నియంత్రణ వ్యవస్థను కలిగి ఉంటుంది. ఇది నిక్షేపణ ప్రక్రియ అంతటా ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రత వాతావరణాన్ని నిర్వహించగలదు, ఇది చిత్రం యొక్క ఏకరూపత మరియు నాణ్యతను నిర్ధారించడానికి చాలా ముఖ్యమైనది.

ఏకరీతి వాయువు పంపిణీ:

SIC పూత ALD ససెప్టర్ యొక్క ఆప్టిమైజ్ డిజైన్ ALD నిక్షేపణ ప్రక్రియలో గ్యాస్ యొక్క ఏకరీతి పంపిణీని నిర్ధారిస్తుంది. దీని నిర్మాణం సాధారణంగా మొత్తం పొర ఉపరితలం అంతటా రియాక్టివ్ వాయువుల ఏకరీతి కవరేజీని ప్రోత్సహించడానికి బహుళ తిరిగే లేదా కదిలే భాగాలను కలిగి ఉంటుంది.

అధిక రసాయన నిరోధకత:

ఆల్డ్ ప్రక్రియలో వివిధ రకాల రసాయన వాయువులు ఉంటాయి కాబట్టి, SIC పూత ALD ససెప్టర్ సాధారణంగా రసాయన వాయువుల కోత మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాల ప్రభావాన్ని నిరోధించడానికి తుప్పు-నిరోధక పదార్థాలతో (ప్లాటినం, సిరామిక్స్ లేదా హై-ప్యూరిటీ క్వార్ట్జ్ వంటివి) తయారు చేయబడుతుంది.

అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత:

వేడిని సమర్థవంతంగా నిర్వహించడానికి మరియు స్థిరమైన నిక్షేపణ ఉష్ణోగ్రతను నిర్వహించడానికి, SIC పూత ALD ససెప్టర్లు సాధారణంగా అధిక ఉష్ణ వాహకత పదార్థాలను ఉపయోగిస్తాయి. ఇది స్థానిక వేడెక్కడం మరియు అసమాన నిక్షేపణను నివారించడానికి సహాయపడుతుంది.

సివిడి సిక్ పూత యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు:

ఉత్పత్తి దుకాణాలు:

సెమీకండక్టర్ చిప్ ఎపిటాక్సీ పరిశ్రమ గొలుసు యొక్క అవలోకనం：