క్వార్ట్జ్ గ్యాస్ పంపిణీ ప్లేట్

క్వార్ట్జ్ గ్యాస్ డిస్ట్రిబ్యూషన్ ప్లేట్లు, క్వార్ట్జ్ షవర్ హెడ్స్ అని కూడా పిలుస్తారు, సెమీకండక్టర్ ఫాబ్రికేషన్‌లో క్లిష్టమైన భాగాలు. క్వార్ట్జ్ యొక్క అసాధారణమైన స్వచ్ఛత, అధిక-ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత మరియు తుప్పు నిరోధకతను పెంచడం, ఈ ప్లేట్లు పొర ఉపరితలంపై ప్రక్రియ వాయువుల ఏకరీతి మరియు స్థిరమైన ప్రవాహాన్ని నిర్ధారిస్తాయి. డిపాజిట్ చేసిన చలనచిత్రాలు లేదా చెక్కిన లక్షణాల నాణ్యత మరియు ఏకరూపతను నిర్వహించడానికి ఈ ఖచ్చితమైన డెలివరీ అవసరం.

అధిక-స్వచ్ఛత ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్ యొక్క ముఖ్య లక్షణాలు

● పదార్థం: 99.99%హై-ప్యూరిటీ ఫ్యూజ్డ్ క్వార్ట్జ్

Temperature అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత: 1000 above పైన ఉష్ణోగ్రతను తట్టుకుంటుంది

తుప్పు నిరోధకత: ప్రాసెస్ వాయువులు మరియు ప్లాస్మా పరిసరాలకు వ్యతిరేకంగా అద్భుతమైన మన్నిక

● ప్రెసిషన్ గ్యాస్ ప్రవాహం: సరైన గ్యాస్ డెలివరీ మరియు డిపాజిషన్ ఏకరూపత కోసం ఏకరీతి మైక్రో-హోల్ పంపిణీ

Implion అనుకూలీకరించదగిన డిజైన్: నిర్దిష్ట పరికరాల నమూనాల కోసం పరిమాణం, రంధ్రం నమూనా మరియు మౌంటు లక్షణాలను రూపొందించవచ్చు

సెమీకండక్టర్ తయారీలో కోర్ పాత్రలు

1. భౌతిక ఆవిరి నిక్షేపణ (పివిడి) & కెమికల్ ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి)

పాత్ర.

నిర్దిష్ట ఉపయోగాలు:

Infic ఏకరీతి నియంత్రణ: ప్లేట్ యొక్క ఖచ్చితంగా ఇంజనీరింగ్ చేసిన సూక్ష్మ రంధ్రాలు గ్యాస్ ప్రవాహం మరియు ఏకాగ్రత మొత్తం పొర ఉపరితలం అంతటా ఏకరీతిగా ఉండేలా చూస్తాయి. స్థిరమైన మందం మరియు పనితీరుతో సినిమాలను జమ చేయడానికి ఇది చాలా ముఖ్యమైనది.

Contamion కాలుష్యం నివారణ: క్వార్ట్జ్ యొక్క అధిక స్వచ్ఛత ప్లేట్ ప్రాసెస్ వాయువులతో స్పందించకుండా లేదా మలినాలను విడుదల చేయకుండా నిరోధిస్తుంది. ఇది చలన చిత్రం యొక్క స్వచ్ఛతను నిర్వహిస్తుంది మరియు పొర ఉపరితలంపై లోపాలను నిరోధిస్తుంది.

2. ప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ (PECVD)

పాత్ర: PECVD లో, క్వార్ట్జ్ షవర్ హెడ్ రియాక్టివ్ వాయువులను అందించడమే కాకుండా ప్లాస్మా ఉత్పత్తికి ఎలక్ట్రోడ్గా పనిచేస్తుంది.

నిర్దిష్ట ఉపయోగాలు:

● ప్లాస్మా జ్వలన: ప్లాస్మాను రూపొందించడానికి షవర్‌హెడ్ సాధారణంగా రేడియో-ఫ్రీక్వెన్సీ (RF) విద్యుత్ వనరుతో అనుసంధానించబడి ఉంటుంది. ప్లాస్మాలోని అధిక-శక్తి కణాలు వాయు ప్రతిచర్యల కుళ్ళిపోవడాన్ని ప్రోత్సహిస్తాయి, తక్కువ ఉష్ణోగ్రతల వద్ద ఫిల్మ్ డిపాజిషన్‌ను అనుమతిస్తుంది.

● థర్మల్ స్టెబిలిటీ: క్వార్ట్జ్ అద్భుతమైన ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని ప్రదర్శిస్తుంది, ఇది అధిక-ఉష్ణోగ్రత ప్లాస్మా వాతావరణాన్ని తట్టుకోవటానికి అనుమతిస్తుంది. ఇది ప్రాసెస్ చాంబర్‌లో ఏకరీతి ఉష్ణోగ్రతను నిర్వహించడానికి సహాయపడుతుంది, చలనచిత్ర నాణ్యత మరియు స్థిరత్వాన్ని మరింత నిర్ధారిస్తుంది.

3. డ్రై ఎచింగ్

పాత్ర.

నిర్దిష్ట ఉపయోగాలు:

● ఎట్చ్ ఏకరూపత: ప్లేట్ ఎట్చ్ వాయువుల ఏకరీతి ప్రవాహం మరియు ఏకాగ్రతను నిర్ధారిస్తుంది, ఇది మొత్తం పొరలలో స్థిరమైన ఎట్చ్ లోతు మరియు ప్రొఫైల్‌కు హామీ ఇస్తుంది. అధునాతన సెమీకండక్టర్ పరికరాలకు అవసరమైన ఖచ్చితమైన నమూనాలను సాధించడానికి ఇది చాలా ముఖ్యమైనది.

● తుప్పు నిరోధకత: ఎట్చ్ వాయువుల యొక్క బలమైన తినివేయు లక్షణాలు మన్నికైన పదార్థం అవసరం. క్వార్ట్జ్ యొక్క అధిక తుప్పు నిరోధకత షవర్ హెడ్ యొక్క జీవితకాలం విస్తరించి, ప్రక్రియ అంతరాయాల ప్రమాదాన్ని తగ్గిస్తుంది.

4. పొర శుభ్రపరచడం

పాత్ర.

నిర్దిష్ట ఉపయోగాలు:

● స్థిరమైన శుభ్రపరచడం: పలకను శుభ్రపరిచే వాయువులు పొర యొక్క ప్రతి భాగానికి చేరుకుంటాయని, సమగ్రమైన మరియు ఏకరీతి శుభ్రపరిచే ప్రక్రియను అనుమతిస్తుంది.

Complication రసాయన అనుకూలత: విస్తృత శ్రేణి శుభ్రపరిచే రసాయనాలతో క్వార్ట్జ్ యొక్క అనుకూలత ప్రతిచర్యలను నిరోధిస్తుంది మరియు శుభ్రపరిచే ప్రక్రియ యొక్క స్వచ్ఛత మరియు ప్రభావాన్ని నిర్వహిస్తుంది.