PZT పైజోఎలెక్ట్రిక్ పొరలు (PZT on Si/SOI)

1. టెక్నికల్ ఆర్కిటెక్చర్

మా పొరలు సంక్లిష్టమైన MEMS ప్రాసెసింగ్ సమయంలో సరైన సంశ్లేషణ, వాహకత మరియు పైజోఎలెక్ట్రిక్ ప్రతిస్పందనను నిర్ధారించడానికి రూపొందించబడిన అధునాతన బహుళ-లేయర్ స్టాక్ నిర్మాణాన్ని కలిగి ఉంటాయి:

 ●టాప్ ఎలక్ట్రోడ్ (కీ లేయర్): Pt (ప్లాటినం).

● పియెజో లేయర్ (కోర్ లేయర్): PZT.

● ఇంటర్మీడియట్ పొరలు: గ్రెయిన్ ఓరియంటేషన్ మరియు స్ట్రక్చరల్ స్టెబిలిటీని ఆప్టిమైజ్ చేయడానికి బఫర్ లేయర్, బాటమ్ ఎలక్ట్రోడ్ మరియు అడెషన్ లేయర్‌ని కలిగి ఉంటుంది.

● సబ్‌స్ట్రేట్: Si లేదా SOI పొరలతో అనుకూలమైనది.

2. నాణ్యత హామీ & మైక్రోస్ట్రక్చర్ విశ్లేషణ

మేము కఠినమైన సాంకేతిక లక్షణాల ద్వారా అధిక విశ్వసనీయతను నిర్ధారిస్తాము:

 ●SEM విశ్లేషణ: స్కానింగ్ ఎలక్ట్రాన్ మైక్రోస్కోపీ (SEM) చిత్రాలు ఏకరీతి ధాన్యం పరిమాణం పంపిణీతో దట్టమైన, పగుళ్లు లేని ఉపరితల స్వరూపాన్ని వెల్లడిస్తాయి, అధిక విశ్వసనీయత కలిగిన MEMS అప్లికేషన్‌లకు అనువైనది.

 ●XRD క్యారెక్టరైజేషన్: ఎక్స్-రే డిఫ్రాక్షన్ (XRD) నమూనాలు బలమైన (100) ప్రాధాన్య ధోరణితో స్వచ్ఛమైన పెరోవ్‌స్కైట్ దశ నిర్మాణాన్ని నిర్ధారిస్తాయి, గరిష్ట పైజోఎలెక్ట్రిక్ పనితీరు గుణకాలను నిర్ధారిస్తాయి.

3. సాంకేతిక లక్షణాలు (లక్షణాలు)

4. కోర్ అప్లికేషన్లు

 ● పైజోఎలెక్ట్రిక్ మైక్రోమచిన్డ్ అల్ట్రాసోనిక్ ట్రాన్స్‌డ్యూసర్‌లు (pMUT): ఫింగర్‌ప్రింట్ సెన్సార్‌లు, సంజ్ఞ గుర్తింపు మరియు ఆటోమోటివ్ అల్ట్రాసోనిక్ రాడార్ కోసం హై-ఫ్రీక్వెన్సీ సూక్ష్మీకరించిన శ్రేణులు.

 ● కమ్యూనికేషన్: విస్తృత బ్యాండ్‌విడ్త్ మరియు తక్కువ చొప్పించే నష్టాన్ని సాధించడానికి 5G/6Gలో FBAR లేదా SAW ఫిల్టర్‌లను తయారు చేయడానికి కీ.

 ● ఎకౌస్టిక్ MEMS: MEMS స్పీకర్‌ల కోసం శక్తివంతమైన తాత్కాలిక ప్రతిస్పందనను అందిస్తుంది మరియు MEMS మైక్రోఫోన్‌ల కోసం సిగ్నల్-టు-నాయిస్ రేషియో (SNR)ని మెరుగుపరుస్తుంది.

 ● ప్రెసిషన్ ఫ్లూయిడ్ కంట్రోల్: ఇంక్‌జెట్ ప్రింట్‌హెడ్‌లలో బిందువుల వాల్యూమ్ యొక్క నానోలిటర్-స్కేల్ ఖచ్చితమైన నియంత్రణ కోసం d31 మోడ్ ద్వారా హై-స్పీడ్ వైబ్రేషన్.

 ● వైద్య & అందం (మైక్రో-పంపింగ్): అధిక విశ్వసనీయత మరియు కాంపాక్ట్ సైజుతో మెడికల్ నెబ్యులైజర్‌లు లేదా కాస్మెటిక్ అల్ట్రాసోనిక్ పంపులను డ్రైవ్ చేస్తుంది.

5. అనుకూలీకరణ సేవలు

Si పొరలపై ప్రామాణిక నిక్షేపణతో పాటు, మేము అనుకూల నిక్షేపణ సేవలను కూడా అందిస్తాము:

 ●ఫిల్మ్ & మందం అనుకూలీకరణ: డిజైన్ అవసరాలకు అనుగుణంగా నిర్దిష్ట చలనచిత్ర రకాలు మరియు అనుకూల మందాల నిక్షేపణ.

 ●OEM ఫౌండ్రీ: అధిక-నాణ్యత పైజోఎలెక్ట్రిక్ థిన్-ఫిల్మ్ వృద్ధి కోసం కస్టమర్ల నుండి సరఫరా చేయబడిన పొరల అంగీకారం.

 ●SOI సబ్‌స్ట్రేట్ సపోర్ట్: కింది స్పెసిఫికేషన్‌లతో SOI పొరలపై ప్రత్యేక నిక్షేపణ: