వార్తలు

సిలికాన్ కార్బైడ్ (SIC) క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేసులు తరువాతి తరం సెమీకండక్టర్ పరికరాల కోసం అధిక-పనితీరు గల SIC పొరలను ఉత్పత్తి చేయడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తాయి. ఏదేమైనా, అధిక-నాణ్యత గల SIC స్ఫటికాలను పెంచే ప్రక్రియ గణనీయమైన సవాళ్లను అందిస్తుంది. విపరీతమైన థర్మల్ ప్రవణతలను నిర్వహించడం నుండి క్రిస్టల్ లోపాలను తగ్గించడం, ఏకరీతి పెరుగుదలను నిర్ధారించడం మరియు ఉత్పత్తి ఖర్చులను నియంత్రించడం వరకు, ప్రతి దశకు అధునాతన ఇంజనీరింగ్ పరిష్కారాలు అవసరం. ఈ వ్యాసం SIC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేసుల యొక్క సాంకేతిక సవాళ్లను బహుళ కోణాల నుండి విశ్లేషిస్తుంది.

స్మార్ట్ కట్ అనేది అయాన్ ఇంప్లాంటేషన్ మరియు పొర స్ట్రిప్పింగ్ ఆధారంగా ఒక అధునాతన సెమీకండక్టర్ తయారీ ప్రక్రియ, ప్రత్యేకంగా అల్ట్రా-సన్నని మరియు అత్యంత ఏకరీతి 3 సి-సిఐసి (క్యూబిక్ సిలికాన్ కార్బైడ్) పొరల ఉత్పత్తి కోసం ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. ఇది అల్ట్రా-సన్నని క్రిస్టల్ పదార్థాలను ఒక ఉపరితలం నుండి మరొకదానికి బదిలీ చేయగలదు, తద్వారా అసలు భౌతిక పరిమితులను విచ్ఛిన్నం చేస్తుంది మరియు మొత్తం ఉపరితల పరిశ్రమను మారుస్తుంది.

అధిక-నాణ్యత మరియు అధిక-దిగుబడినిచ్చే సిలికాన్ కార్బైడ్ సబ్‌స్ట్రెట్ల తయారీలో, కోర్ మంచి థర్మల్ ఫీల్డ్ మెటీరియల్స్ ద్వారా ఉత్పత్తి ఉష్ణోగ్రతపై ఖచ్చితమైన నియంత్రణ అవసరం. ప్రస్తుతం, థర్మల్ ఫీల్డ్ క్రూసిబుల్ కిట్లు ప్రధానంగా ఉపయోగించిన అధిక-స్వచ్ఛత గ్రాఫైట్ నిర్మాణ భాగాలు, దీని పనితీరు కరిగిన కార్బన్ పౌడర్ మరియు సిలికాన్ పౌడర్‌ను వేడి చేయడం మరియు వేడిని నిర్వహించడం.

మీరు మూడవ తరం సెమీకండక్టర్లను చూసినప్పుడు, మొదటి మరియు రెండవ తరాలు ఏమిటో మీరు ఖచ్చితంగా ఆశ్చర్యపోతారు. సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఉపయోగించే పదార్థాల ఆధారంగా ఇక్కడ "తరం" వర్గీకరించబడింది.

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC), ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC, ఇ-చక్) అని కూడా పిలుస్తారు, ఇది ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శోషణ సూత్రాన్ని ఉపయోగిస్తుంది, ఇది యాడ్సోర్బ్డ్ పదార్థాన్ని పట్టుకుని పరిష్కరించడానికి. ఇది వాక్యూమ్ మరియు ప్లాస్మా వాతావరణాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది.

SIC పొర క్యారియర్లు, మూడవ తరం సెమీకండక్టర్ పరిశ్రమ గొలుసులో కీలకమైన వినియోగ వస్తువులుగా, వాటి సాంకేతిక లక్షణాలు ఎపిటాక్సియల్ పెరుగుదల మరియు పరికర తయారీ యొక్క దిగుబడిని నేరుగా ప్రభావితం చేస్తాయి. 5 జి బేస్ స్టేషన్లు మరియు కొత్త ఇంధన వాహనాలు వంటి పరిశ్రమలలో అధిక-వోల్టేజ్ మరియు అధిక-ఉష్ణోగ్రత పరికరాల కోసం డిమాండ్ పెరుగుతున్నందున, SIC పొర క్యారియర్‌ల పరిశోధన మరియు అనువర్తనం ఇప్పుడు గణనీయమైన అభివృద్ధి అవకాశాలను ఎదుర్కొంటున్నాయి.