ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC) అంటే ఏమిటి?

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC), ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC, ఇ-చక్) అని కూడా పిలుస్తారు, ఇది ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శోషణ సూత్రాన్ని ఉపయోగిస్తుంది, ఇది యాడ్సోర్బ్డ్ పదార్థాన్ని పట్టుకుని పరిష్కరించడానికి. ఇది వాక్యూమ్ మరియు ప్లాస్మా వాతావరణాలకు అనుకూలంగా ఉంటుంది. దీని ప్రధాన పని అల్ట్రా-శుభ్రమైన సన్నని పలకలను (సిలికాన్ పొరలు వంటివి) మరియు యాడ్సోర్బ్డ్ పదార్థాన్ని మంచి ఫ్లాట్‌నెస్ వద్ద ఉంచండి, ఇది ఈ ప్రక్రియలో యాడ్సోర్బ్డ్ పదార్థం యొక్క వైకల్యాన్ని కూడా నిరోధిస్తుంది మరియు ఇది యాడ్సోర్బేట్ యొక్క ఉష్ణోగ్రతను సర్దుబాటు చేస్తుంది.

ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చక్ (ESC) అనేది ఒక ప్రత్యేకమైన చక్, ఇది వస్తువులను పట్టుకోవటానికి, నొక్కడానికి మరియు తీయటానికి ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ శక్తిని ఉపయోగిస్తుంది (వర్క్‌పీస్). ఏదైనా పదార్థం నగ్న కంటికి కనిపించని సానుకూల మరియు ప్రతికూల ఛార్జీలను కలిగి ఉంటుంది. పదార్థం ESC పై ఉంచినప్పుడు మరియు ESC యొక్క అంతర్గత ఎలక్ట్రోడ్లకు బైపోలార్ వోల్టేజ్ వర్తించబడినప్పుడు, ESC యొక్క అంతర్గత ఎలక్ట్రోడ్ల ధ్రువణతకు సరిపోయేలా సానుకూల మరియు ప్రతికూల ఛార్జీలు పదార్థంలో కదులుతాయి. ESC మరియు పదార్థం మధ్య ఈ ఆకర్షణను ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ ఫోర్స్ అని పిలుస్తారు మరియు ఇది మా చక్స్ వెనుక ఉన్న ప్రాథమిక సూత్రం.

ఉత్పత్తి ప్రయోజనాలు

ఇది విస్తృత ఆపరేటింగ్ ఉష్ణోగ్రత పరిధిని కలిగి ఉంది (-50 నుండి 700 ℃)

ఈ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చూషణ కప్పులు అద్భుతమైన బలం, థర్మల్ కండక్టివిటీ మరియు థర్మల్ షాక్ రెసిస్టెన్స్ కలిగి ఉంటాయి మరియు NGK యొక్క యాజమాన్య సిరామిక్ వాల్యూమ్ రెసిస్టివిటీ నియంత్రణ ద్వారా విస్తృత ఉష్ణోగ్రత పరిధికి అనుగుణంగా ఉంటాయి.

అధిక తుప్పు నిరోధకత

ఈ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చూషణ కప్పులు హాలోజన్ వాయువులకు అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకతను కలిగి ఉంటాయి.

తక్కువ-కణ ప్రాసెసింగ్

ఉపరితల చికిత్స మరియు ప్రత్యేక శుభ్రపరచడం ద్వారా తక్కువ-కణ చికిత్సను సాధించవచ్చు

అధిక స్వచ్ఛత

99.9% లేదా అంతకంటే ఎక్కువ స్వచ్ఛత కలిగిన ఉత్పత్తులు కూడా అందుబాటులో ఉన్నాయి.

తాపన పనితీరు

అధిక-ఖచ్చితమైన తాపన మూలకం ఎంబెడ్డింగ్ టెక్నాలజీని హీటర్ ఫంక్షన్‌తో అనుసంధానించవచ్చు మరియు పొర ఉష్ణోగ్రతను ± 1%లోపు నియంత్రించవచ్చు.

శీతలీకరణ ఫంక్షన్

ఈ ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చూషణ కప్పులు అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు శీతలీకరణ పలకలతో సిరామిక్ ప్లేట్లను బంధించడం ద్వారా చాలా ఎక్కువ శీతలీకరణ పనితీరును కలిగి ఉంటాయి.

రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ ఎలక్ట్రోడ్

బల్క్ మెటల్ ఎలక్ట్రోడ్లు ఏకకాలంలో స్థిరమైన పొర బిగింపు మరియు రేడియో ఫ్రీక్వెన్సీ ప్లాస్మా ఉత్పత్తిని అందించగలవు.

Pఅరామీటర్

1.సెమీకండక్టర్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్ తయారీ రంగంలో: సెమీకండక్టర్ మరియు ఎలక్ట్రానిక్ తయారీ ప్రక్రియల సమయంలో, ఎలక్ట్రోస్టాటిక్ చూషణ కప్పులను సన్నని మరియు పెళుసైన సిలికాన్ పొరలు, పొరలు మొదలైనవి పరిష్కరించడానికి మరియు నిర్వహించడానికి ఉపయోగిస్తారు.

2. గ్లాస్ మరియు సిరామిక్స్ పరిశ్రమ: గాజు మరియు సిరామిక్స్ యొక్క కటింగ్, గ్రౌండింగ్ మరియు హ్యాండ్లింగ్ ప్రక్రియల సమయంలో, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చూషణ కప్పులు పెళుసైన పదార్థాలపై వినాశకరమైన కార్యకలాపాలను చేయగలవు, ఉత్పత్తి విచ్ఛిన్న రేటును తగ్గిస్తాయి.

3. ఖచ్చితమైన యంత్రాలు మరియు ఆప్టికల్ భాగాల తయారీ: ఖచ్చితమైన యంత్రాలు మరియు ఆప్టికల్ భాగాల కోసం, ఎలెక్ట్రోస్టాటిక్ చూషణ కప్పులు స్థిరమైన అధిశోషణం శక్తిని అందించగలవు, ప్రాసెసింగ్ సమయంలో వైకల్యం లేదా గీతలను నివారిస్తాయి.

4.