PECVD కోసం గ్రాఫైట్ పడవ

అప్లికేషన్: PECVD కోసం Veteksemicon గ్రాఫైట్ బోట్ ప్లాస్మా-మెరుగైన రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ప్రక్రియలో ఒక ప్రధాన భాగం. ఇది సిలికాన్ పొరలు, సమ్మేళనం సెమీకండక్టర్స్ మరియు డిస్ప్లే ప్యానెల్ సబ్‌స్ట్రేట్‌లపై అధిక-నాణ్యత సిలికాన్ నైట్రైడ్, సిలికాన్ ఆక్సైడ్ మరియు ఇతర సన్నని ఫిల్మ్‌లను జమ చేయడానికి ప్రత్యేకంగా రూపొందించబడింది. దీని పనితీరు ఫిల్మ్ ఏకరూపత, ప్రక్రియ స్థిరత్వం మరియు ఉత్పత్తి వ్యయాన్ని నేరుగా నిర్ణయిస్తుంది.

అందించగల సేవలు: కస్టమర్ అప్లికేషన్ దృష్టాంతం విశ్లేషణ, సరిపోలే పదార్థాలు, సాంకేతిక సమస్య పరిష్కారం.

కంపెనీ ప్రొఫైల్వెటెక్సెమికాన్ 2 ప్రయోగశాలలను కలిగి ఉంది, 20 సంవత్సరాల మెటీరియల్ అనుభవం కలిగిన నిపుణుల బృందం, R&D మరియు ఉత్పత్తి, పరీక్ష మరియు ధృవీకరణ సామర్థ్యాలతో.

సాధారణ ఉత్పత్తి సమాచారం

ఉత్పత్తి వ్యాపార నిబంధనలు

ప్రధాన అప్లికేషన్ ఫీల్డ్‌లు

PECVD కోర్ ప్రయోజనాల కోసం Veteksemicon గ్రాఫైట్ బోట్

1. అధిక స్వచ్ఛత సబ్‌స్ట్రేట్‌లు, మూలం నుండి కాలుష్యాన్ని నియంత్రిస్తాయి

1600°C నిరంతర నిర్వహణ వాతావరణంలో కూడా లోహపు మలినాలను అవక్షేపించదని నిర్ధారించుకోవడానికి 99.995% కంటే ఎక్కువ స్థిరమైన స్వచ్ఛతతో ఐసోస్టాటిక్‌గా నొక్కిన హై-ప్యూరిటీ గ్రాఫైట్‌ను బేస్ మెటీరియల్‌గా ఉపయోగించాలని మేము పట్టుబడుతున్నాము. ఈ కఠినమైన మెటీరియల్ అవసరం క్యారియర్ కాలుష్యం వల్ల ఏర్పడే పొర పనితీరు క్షీణతను నేరుగా నివారిస్తుంది, అధిక-నాణ్యత సిలికాన్ నైట్రైడ్ లేదా సిలికాన్ ఆక్సైడ్ ఫిల్మ్‌లను డిపాజిట్ చేయడానికి అత్యంత ప్రాథమిక హామీని అందిస్తుంది.

2. ప్రక్రియ ఏకరూపతను నిర్ధారించడానికి ఖచ్చితమైన థర్మల్ ఫీల్డ్ మరియు స్ట్రక్చరల్ డిజైన్

విస్తృతమైన ద్రవ అనుకరణ మరియు ప్రక్రియ కొలత డేటా ద్వారా, మేము పడవ యొక్క స్లాట్ కోణం, గైడ్ గాడి లోతు మరియు గ్యాస్ ప్రవాహ మార్గాన్ని ఆప్టిమైజ్ చేసాము. ఈ ఖచ్చితమైన నిర్మాణ పరిశీలన పొరల మధ్య రియాక్టివ్ వాయువుల ఏకరీతి పంపిణీని అనుమతిస్తుంది. వాస్తవ కొలతలు పూర్తి లోడ్ వద్ద, అదే బ్యాచ్‌లోని పొరల మధ్య ఫిల్మ్ మందం యొక్క ఏకరూపత విచలనాన్ని ± 1.5% లోపల స్థిరంగా నియంత్రించవచ్చు, ఉత్పత్తి దిగుబడిని గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

3. నిర్దిష్ట ప్రక్రియ తుప్పును పరిష్కరించడానికి అనుకూలీకరించిన పూత పరిష్కారాలు

వివిధ కస్టమర్‌ల విభిన్న ప్రాసెస్ గ్యాస్ పరిసరాలను తీర్చడానికి, మేము రెండు పరిపక్వ పూత ఎంపికలను అందిస్తాము: పైరోలైటిక్ కార్బన్ మరియు సిలికాన్ కార్బైడ్. మీరు ప్రధానంగా సిలికాన్ నైట్రైడ్‌ను జమ చేసి, హైడ్రోజన్ శుభ్రపరచడాన్ని ఉపయోగిస్తే, దట్టమైన పైరోలైటిక్ కార్బన్ పూత హైడ్రోజన్ ప్లాస్మా కోతకు అద్భుతమైన ప్రతిఘటనను అందిస్తుంది. మీ ప్రక్రియలో ఫ్లోరిన్-కలిగిన శుభ్రపరిచే వాయువులు ఉంటే, అధిక-కాఠిన్యం గల సిలికాన్ కార్బైడ్ పూత ఉత్తమ ఎంపిక. ఇది గ్రాఫైట్ బోట్ యొక్క సేవా జీవితాన్ని అత్యంత తినివేయు వాతావరణంలో సాధారణ అన్‌కోటెడ్ ఉత్పత్తుల కంటే మూడు రెట్లు ఎక్కువ పొడిగించగలదు.

4. అద్భుతమైన థర్మల్ షాక్ స్థిరత్వం, తరచుగా ఉష్ణోగ్రత చక్రాలకు అనుగుణంగా

మా ప్రత్యేకమైన గ్రాఫైట్ ఫార్ములా మరియు అంతర్గత ఉపబల పక్కటెముక రూపకల్పనకు ధన్యవాదాలు, మా గ్రాఫైట్ బోట్‌లు PECVD ప్రక్రియ యొక్క పునరావృత వేగవంతమైన శీతలీకరణ మరియు తాపన షాక్‌లను తట్టుకోగలవు. కఠినమైన ప్రయోగశాల పరీక్షలలో, గది ఉష్ణోగ్రత నుండి 800°C వరకు 500 వేగవంతమైన ఉష్ణ చక్రాల తర్వాత, పడవ యొక్క ఫ్లెక్చరల్ బలం నిలుపుదల రేటు ఇప్పటికీ 90% మించి ఉంది, ఉష్ణ ఒత్తిడి వల్ల కలిగే పగుళ్లను సమర్థవంతంగా నివారించడంతోపాటు ఉత్పత్తి కొనసాగింపు మరియు భద్రతను నిర్ధారిస్తుంది.

5. ఎకోలాజికల్ చైన్ వెరిఫికేషన్ ఎండార్స్‌మెంట్

PECVD' కోసం Veteksemicon గ్రాఫైట్ బోట్' ఎకోలాజికల్ చైన్ వెరిఫికేషన్ ఉత్పత్తికి ముడి పదార్థాలను కవర్ చేస్తుంది, అంతర్జాతీయ ప్రమాణ ధృవీకరణను ఆమోదించింది మరియు సెమీకండక్టర్ మరియు కొత్త శక్తి క్షేత్రాలలో దాని విశ్వసనీయత మరియు స్థిరత్వాన్ని నిర్ధారించడానికి అనేక పేటెంట్ టెక్నాలజీలను కలిగి ఉంది.

వివరణాత్మక సాంకేతిక లక్షణాలు, శ్వేతపత్రాలు లేదా నమూనా పరీక్ష ఏర్పాట్ల కోసం, Veteksemicon మీ ప్రాసెస్ సామర్థ్యాన్ని ఎలా మెరుగుపరుస్తుందో అన్వేషించడానికి దయచేసి మా సాంకేతిక మద్దతు బృందాన్ని సంప్రదించండి.