TEAC పూత భ్రమణ ససెప్టర్

సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో పొరల నిర్వహణకు వెటెక్ సెమీకండక్టర్ టాక్ కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్ ఒక ముఖ్య భాగం. దానిటాక్ ఏమిటిమాఅద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం (3880 ° C వరకు ద్రవీభవన స్థానం), రసాయన స్థిరత్వం మరియు తుప్పు నిరోధకత ఉన్నాయి, ఇవి పొర ప్రాసెసింగ్‌లో అధిక ఖచ్చితత్వాన్ని మరియు అధిక నాణ్యతను నిర్ధారిస్తాయి.

TAC కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్ (టాంటాలమ్ కార్బన్ కోటింగ్ రొటేషన్ ససెప్టర్) అనేది సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో ఉపయోగించే కీలక పరికరాల భాగం. ఇది సాధారణంగా ఇన్‌స్టాల్ చేయబడుతుందిరసాయనిక ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి)మరియు ఏకరీతి పదార్థ నిక్షేపణ మరియు సమర్థవంతమైన ప్రతిచర్యను నిర్ధారించడానికి పొరలను మద్దతు ఇవ్వడానికి మరియు తిప్పడానికి మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ (MBE) పరికరాలు. ఈ రకమైన ఉత్పత్తి అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో పరికరాల సేవా జీవితం మరియు పనితీరును గణనీయంగా మెరుగుపరుస్తుందిచర్మానికి సంబంధించిన.

TAC పూత భ్రమణం ససెప్టర్ సాధారణంగా TAC పూత మరియు గ్రాఫైట్ లేదా సిలికాన్ కార్బైడ్‌తో ఉపరితల పదార్థంగా కూడి ఉంటుంది. TAC అనేది చాలా ఎక్కువ ద్రవీభవన స్థానం (3880 ° C వరకు ద్రవీభవన స్థానం), కాఠిన్యం (విక్కర్స్ కాఠిన్యం 2000 హెచ్‌కె) మరియు అద్భుతమైన రసాయన తుప్పు నిరోధకత కలిగిన అల్ట్రా-హై ఉష్ణోగ్రత సిరామిక్ పదార్థం. వెటెక్ సెమీకండక్టర్ సివిడి టెక్నాలజీ ద్వారా సబ్‌స్ట్రేట్ మెటీరియల్‌పై టాంటాలమ్ కార్బన్ పూతను సమర్థవంతంగా మరియు సమానంగా కవర్ చేయగలదు.

భ్రమణ ససెప్టర్ సాధారణంగా అధిక ఉష్ణ వాహకత మరియు అధిక బలం పదార్థాలతో తయారు చేయబడింది (గ్రాఫైట్ లేదాసిలికాన్ కార్బైడ్), ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో మంచి యాంత్రిక మద్దతు మరియు ఉష్ణ స్థిరత్వాన్ని అందిస్తుంది. రెండింటి యొక్క ఖచ్చితమైన కలయిక TAC పూత భ్రమణ ససెప్టర్ యొక్క ఖచ్చితమైన పనితీరును నిర్ణయిస్తుంది, ఇది పొరలకు మద్దతు ఇవ్వడం మరియు తిరిగేది.

TAC పూత భ్రమణం ససెప్టర్ CVD ప్రక్రియలో పొరను మద్దతు ఇస్తుంది మరియు తిప్పారు. TAC యొక్క విక్కర్స్ కాఠిన్యం సుమారు 2000 HK, ఇది పదార్థం యొక్క పదేపదే ఘర్షణను నిరోధించడానికి మరియు మంచి సహాయక పాత్రను పోషిస్తుంది, తద్వారా ప్రతిచర్య వాయువు పొర ఉపరితలంపై సమానంగా పంపిణీ చేయబడిందని మరియు పదార్థం సమానంగా జమ అవుతుంది. అదే సమయంలో, TAC పూత యొక్క అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం మరియు తుప్పు నిరోధకత అధిక ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణాలలో ఎక్కువసేపు ఉపయోగించటానికి వీలు కల్పిస్తుంది, ఇది పొర మరియు క్యారియర్ యొక్క కలుషితాన్ని సమర్థవంతంగా నివారిస్తుంది.

అంతేకాకుండా, TAC యొక్క ఉష్ణ వాహకత 21 W/m · K, ఇది మంచి ఉష్ణ బదిలీని కలిగి ఉంటుంది. అందువల్ల, TAC పూత భ్రమణ ససెప్టర్ అధిక ఉష్ణోగ్రత పరిస్థితులలో పొరను సమానంగా వేడి చేస్తుంది మరియు భ్రమణ కదలిక ద్వారా వాయువు నిక్షేపణ ప్రక్రియ యొక్క ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా స్థిరత్వం మరియు అధిక నాణ్యతను కొనసాగిస్తుందిపొర పెరుగుదల.

మైక్రోస్కోపిక్ క్రాస్-సెక్షన్‌పై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (టిఎసి) పూత：

TAC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు：

TAC పూత భ్రమణం ససెప్టర్ షాపులు: