సిక్ ఐసిపి ఎచింగ్ ప్లేట్

ICP ఎట్చింగ్ (ప్రేరకంగా కపుల్డ్ ప్లాస్మా ఎట్చింగ్) టెక్నాలజీ అనేది సెమీకండక్టర్ తయారీలో ఒక ఖచ్చితమైన ఎచింగ్ ప్రక్రియ, సాధారణంగా అధిక-ప్రాధాన్యత మరియు అధిక-నాణ్యత నమూనా బదిలీ కోసం ఉపయోగిస్తారు, ముఖ్యంగా లోతైన రంధ్రం చెక్కడం, మైక్రో-పాటర్న్ ప్రాసెసింగ్ మొదలైన వాటికి అనువైనది.

సెమికాన్యొక్క SIC ICP ఎచింగ్ ప్లేట్ ప్రత్యేకంగా ICP ప్రక్రియ కోసం రూపొందించబడింది, అధిక-నాణ్యత SIC పదార్థాలను ఉపయోగించి, మరియు అధిక ఉష్ణోగ్రత, బలమైన తినివేయు మరియు అధిక శక్తి వాతావరణాలలో అద్భుతమైన పనితీరును అందిస్తుంది. బేరింగ్ మరియు మద్దతు కోసం ఒక ముఖ్య అంశంగా,ICP ఎట్చ్ఎచింగ్ ప్రక్రియలో ప్లేట్ స్థిరత్వం మరియు సామర్థ్యాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

సిక్ ఐసిపి ఎచింగ్ ప్లేట్ఉత్పత్తి లక్షణాలు

● అధిక ఉష్ణోగ్రత సహనం

SIC ICP ఎట్చింగ్ ప్లేట్ 1600 ° C వరకు ఉష్ణోగ్రత మార్పులను తట్టుకోగలదు, అధిక ఉష్ణోగ్రత ICP ఎచింగ్ వాతావరణంలో స్థిరమైన వాడకాన్ని నిర్ధారిస్తుంది మరియు ఉష్ణోగ్రత హెచ్చుతగ్గుల వల్ల కలిగే వైకల్యం లేదా పనితీరు క్షీణతను నివారించడం.

●  అద్భుతమైన తుప్పు నిరోధకత

సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థంహైడ్రోజన్ ఫ్లోరైడ్, హైడ్రోజన్ క్లోరైడ్, సల్ఫ్యూరిక్ ఆమ్లం మొదలైన అత్యంత తినివేయు రసాయనాలను సమర్థవంతంగా నిరోధించవచ్చు. వీటిని ఎచింగ్ సమయంలో బహిర్గతం చేయవచ్చు, దీర్ఘకాలిక ఉపయోగం సమయంలో ఉత్పత్తి దెబ్బతినకుండా చూస్తుంది.

●  తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకం

SIC ICP ఎచింగ్ ప్లేట్ తక్కువ ఉష్ణ విస్తరణ గుణకాన్ని కలిగి ఉంది, ఇది అధిక ఉష్ణోగ్రత వాతావరణంలో మంచి డైమెన్షనల్ స్థిరత్వాన్ని నిర్వహించగలదు, ఉష్ణోగ్రత మార్పుల వల్ల వచ్చే ఒత్తిడి మరియు వైకల్యాన్ని తగ్గిస్తుంది మరియు ఖచ్చితమైన ఎచింగ్ ప్రక్రియను నిర్ధారిస్తుంది.

●  అధిక కాఠిన్యం మరియు దుస్తులు ప్రతిఘటన

SIC కి 9 మోహ్స్ కాఠిన్యం యొక్క కాఠిన్యం ఉంది, ఇది ఎచింగ్ ప్రక్రియలో సంభవించే యాంత్రిక దుస్తులు, సేవా జీవితాన్ని పొడిగించడం మరియు పున ment స్థాపన పౌన frequency పున్యాన్ని తగ్గిస్తుంది.

● ఇXcellent ఉష్ణ వాహకత

అద్భుతమైన ఉష్ణ వాహకత నిర్ధారిస్తుందిSic ట్రేఎచింగ్ ప్రక్రియలో వేడిని త్వరగా వెదజల్లుతుంది, వేడి చేరడం వల్ల స్థానిక ఉష్ణోగ్రత పెరుగుదలను నివారించవచ్చు, తద్వారా ఎచింగ్ ప్రక్రియ యొక్క స్థిరత్వం మరియు ఏకరూపతను నిర్ధారిస్తుంది.

బలమైన సాంకేతిక బృందం మద్దతుతో, వెటెక్సెమికన్ SIC ICP ఎచింగ్ ట్రే వివిధ కష్టమైన ప్రాజెక్టులను పూర్తి చేసింది మరియు మీ అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తులను అందిస్తుంది. మేము మీ విచారణ కోసం ఎదురు చూస్తున్నాము.

CVD SIC యొక్క ప్రాథమిక భౌతిక లక్షణాలు: