వార్తలు

సిలికాన్ కార్బైడ్ నానోమెటీరియల్స్ (SIC) నానోమీటర్ స్కేల్ (1-100NM) వద్ద కనీసం ఒక కోణంతో కూడిన పదార్థాలు. ఈ పదార్థాలు సున్నా-, ఒకటి-, రెండు-, లేదా త్రిమితీయమైనవి మరియు విభిన్న అనువర్తనాలను కలిగి ఉంటాయి.

CVD SIC అనేది రసాయన ఆవిరి నిక్షేపణ ద్వారా తయారు చేయబడిన అధిక-స్వచ్ఛత సిలికాన్ కార్బైడ్ పదార్థం. ఇది ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ పరికరాలలో వివిధ భాగాలు మరియు పూతలకు ఉపయోగించబడుతుంది. కింది కంటెంట్ CVD SIC యొక్క ఉత్పత్తి వర్గీకరణ మరియు కోర్ ఫంక్షన్లకు పరిచయం

ఈ వ్యాసం ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో TAC పూత యొక్క ఉత్పత్తి రకాలు, ఉత్పత్తి లక్షణాలు మరియు ప్రధాన విధులను పరిచయం చేస్తుంది మరియు మొత్తం TAC పూత ఉత్పత్తుల యొక్క సమగ్ర విశ్లేషణ మరియు వ్యాఖ్యానాన్ని చేస్తుంది.

ఈ వ్యాసం ప్రధానంగా సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్‌లో MOCVD ససెప్టర్ యొక్క ఉత్పత్తి రకాలు, ఉత్పత్తి లక్షణాలు మరియు ప్రధాన విధులను పరిచయం చేస్తుంది మరియు మొత్తం MOCVD ససెప్టర్ ఉత్పత్తుల యొక్క సమగ్ర విశ్లేషణ మరియు వ్యాఖ్యానాన్ని చేస్తుంది.

ASM కోసం ఒక SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్‌లో కేవలం భర్తీ చేసే భాగం మాత్రమే కాదు. ఇది థర్మల్ ఏకరూపత, పొర శుభ్రత, పూత మన్నిక, ఛాంబర్ స్థిరత్వం మరియు దీర్ఘకాలిక ఉత్పత్తి వ్యయంపై ప్రభావం చూపే ప్రక్రియ-క్లిష్టమైన క్యారియర్.

CVD TaC కోటింగ్ కవర్ అనేది కేవలం రక్షిత మూత లేదా పూత పూసిన గ్రాఫైట్ భాగం కాదు. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో, ఇది ఛాంబర్ శుభ్రత, ఉష్ణ స్థిరత్వం, పాక్షిక జీవితకాలం మరియు ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది.