CVD TAC పూత క్రూసిబుల్

TAC పూత భ్రమణ ససెప్టర్ CVD మరియు MBE వంటి అధిక ఉష్ణోగ్రత నిక్షేపణ ప్రక్రియలలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది మరియు సెమీకండక్టర్ తయారీలో పొర ప్రాసెసింగ్ కోసం ఇది ఒక ముఖ్యమైన భాగం. వాటిలో,TAC పూతఅద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధకత, తుప్పు నిరోధకత మరియు రసాయన స్థిరత్వాన్ని కలిగి ఉంటుంది, ఇది పొర ప్రాసెసింగ్ సమయంలో అధిక ఖచ్చితత్వాన్ని మరియు అధిక నాణ్యతను నిర్ధారిస్తుంది.

CVD TAC పూత క్రూసిబుల్ సాధారణంగా TAC పూత మరియు ఉంటుందిగ్రాఫైట్ఉపరితలం. వాటిలో, TAC అనేది 3880 ° C వరకు ద్రవీభవన బిందువుతో అధిక ద్రవీభవన స్థానం సిరామిక్ పదార్థం. ఇది చాలా ఎక్కువ కాఠిన్యం (2000 హెచ్‌వి వరకు విక్కర్స్ కాఠిన్యం), రసాయన తుప్పు నిరోధకత మరియు బలమైన ఆక్సీకరణ నిరోధకత కలిగి ఉంది. అందువల్ల, TAC పూత సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీలో అద్భుతమైన అధిక ఉష్ణోగ్రత నిరోధక పదార్థం.

గ్రాఫైట్ ఉపరితలం మంచి ఉష్ణ వాహకత (థర్మల్ కండక్టివిటీ సుమారు 21 W/M · K) మరియు అద్భుతమైన యాంత్రిక స్థిరత్వం కలిగి ఉంటుంది. ఈ లక్షణం గ్రాఫైట్ ఆదర్శ పూతగా మారుతుందని నిర్ణయిస్తుందిఉపరితలం.

CVD TAC పూత క్రూసిబుల్ ప్రధానంగా కింది సెమీకండక్టర్ ప్రాసెసింగ్ టెక్నాలజీలలో ఉపయోగించబడుతుంది:

పొర తయారీ. అల్ట్రా-హై ఉష్ణోగ్రత పరిసరాలలో ఉత్పత్తి యొక్క అద్భుతమైన నిర్మాణ స్థిరత్వంతో కలిపి, పరికరాలు చాలా కఠినమైన పరిస్థితులలో చాలా కాలం పాటు స్థిరంగా పనిచేయగలవని నిర్ధారిస్తుంది, తద్వారా పొరల ఉత్పత్తి సామర్థ్యం మరియు నాణ్యతను సమర్థవంతంగా మెరుగుపరుస్తుంది.

ఎపిటాక్సియల్ వృద్ధి ప్రక్రియ: ఎపిటాక్సియల్ ప్రక్రియలలోరసాయనిక ఆవిరి నిక్షేపణ (సివిడి)మరియు మాలిక్యులర్ బీమ్ ఎపిటాక్సీ (MBE), CVD TAC పూత క్రూసిబుల్ మోయడంలో కీలక పాత్ర పోషిస్తుంది. దీని TAC పూత విపరీతమైన ఉష్ణోగ్రత మరియు తినివేయు వాతావరణంలో పదార్థం యొక్క అధిక స్వచ్ఛతను నిర్వహించడమే కాక, పదార్థంపై ప్రతిచర్యల కలుషితాన్ని మరియు రియాక్టర్ యొక్క తుప్పును సమర్థవంతంగా నిరోధించగలదు, ఉత్పత్తి ప్రక్రియ మరియు ఉత్పత్తి అనుగుణ్యత యొక్క ఖచ్చితత్వాన్ని నిర్ధారిస్తుంది.

చైనా యొక్క ప్రముఖ సివిడి టిఎసి పూత క్రూసిబుల్ తయారీదారు మరియు నాయకుడిగా, వెటెక్ సెమీకండక్టర్ మీ పరికరాలు మరియు ప్రక్రియ అవసరాలకు అనుగుణంగా అనుకూలీకరించిన ఉత్పత్తులు మరియు సాంకేతిక సేవలను అందించగలదు. చైనాలో మీ దీర్ఘకాలిక భాగస్వామి కావాలని మేము హృదయపూర్వకంగా ఆశిస్తున్నాము.

మైక్రోస్కోపిక్ క్రాస్-సెక్షన్‌పై టాంటాలమ్ కార్బైడ్ (టిఎసి) పూత：

TAC పూత యొక్క భౌతిక లక్షణాలు：

ఇది సెమీకండక్టర్ CVD TAC పూత క్రూసిబుల్ షాపులు