వార్తలు

ASM కోసం ఒక SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్‌లో కేవలం భర్తీ చేసే భాగం మాత్రమే కాదు. ఇది థర్మల్ ఏకరూపత, పొర శుభ్రత, పూత మన్నిక, ఛాంబర్ స్థిరత్వం మరియు దీర్ఘకాలిక ఉత్పత్తి వ్యయంపై ప్రభావం చూపే ప్రక్రియ-క్లిష్టమైన క్యారియర్.

CVD TaC కోటింగ్ కవర్ అనేది కేవలం రక్షిత మూత లేదా పూత పూసిన గ్రాఫైట్ భాగం కాదు. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో, ఇది ఛాంబర్ శుభ్రత, ఉష్ణ స్థిరత్వం, పాక్షిక జీవితకాలం మరియు ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది.

PECVD ఉత్పత్తిలో, అనేక పూత మరియు నిక్షేపణ సమస్యలు ప్లాస్మా పవర్ లేదా గ్యాస్ కెమిస్ట్రీతో ప్రారంభం కావు. అవి పొరలను కలిగి ఉన్న క్యారియర్‌తో ప్రారంభమవుతాయి.