పరిశ్రమ వార్తలు

అందుబాటులో ఉన్న సాంకేతికతలలో, పెద్ద-పరిమాణ రెసిస్టెన్స్ హీటింగ్ SiC క్రిస్టల్ గ్రోత్ ఫర్నేస్ మెరుగైన స్థిరత్వం మరియు సామర్థ్యంతో పెద్ద-వ్యాసం, తక్కువ-లోపమున్న SiC స్ఫటికాలను ఉత్పత్తి చేయడానికి ఒక క్లిష్టమైన పరిష్కారంగా ఉద్భవించింది. ఈ సాంకేతికత ఎలా పని చేస్తుందో, దాని ప్రయోజనాలు, అప్లికేషన్‌లు మరియు పరిశ్రమ నాయకులు Veteksemi నుండి వినూత్న పరిష్కారాలను ఎందుకు విశ్వసిస్తున్నారో ఈ కథనం విశ్లేషిస్తుంది.

ASM కోసం ఒక SiC కోటెడ్ గ్రాఫైట్ ససెప్టర్ అనేది ఎపిటాక్సీ సిస్టమ్‌లో కేవలం భర్తీ చేసే భాగం మాత్రమే కాదు. ఇది థర్మల్ ఏకరూపత, పొర శుభ్రత, పూత మన్నిక, ఛాంబర్ స్థిరత్వం మరియు దీర్ఘకాలిక ఉత్పత్తి వ్యయంపై ప్రభావం చూపే ప్రక్రియ-క్లిష్టమైన క్యారియర్.

CVD TaC కోటింగ్ కవర్ అనేది కేవలం రక్షిత మూత లేదా పూత పూసిన గ్రాఫైట్ భాగం కాదు. అధిక-ఉష్ణోగ్రత సెమీకండక్టర్ ప్రక్రియలలో, ఇది ఛాంబర్ శుభ్రత, ఉష్ణ స్థిరత్వం, పాక్షిక జీవితకాలం మరియు ప్రక్రియ స్థిరత్వాన్ని ప్రభావితం చేస్తుంది.